ドライスクリュー真空ポンプ
COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスに理想的な選択肢です。COBRA Semiconの動作原理は、最先端のスクリュー技術に基づいています。特許取得のセルフバランシングスクリューは、効率において新たな基準を打ち立てるものとなりました。COBRA Semiconは、高い排気能力と優れたベーパーおよび粉体への耐性を兼ね備えているため、 粉体を含むガスの吸引も問題ありません。
ドライかつ非接触式の動作原理が、低メンテナンス、低運用コスト、そして長寿命化を実現しています。COBRA Semiconはコンパクトサイズのため、限られたスペースにも簡単に設置できます。

動作原理
COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプの内部では、2本のスクリュー型のローターが互いに逆方向に回転します。吸引されたガスがシリンダーとスクリューチャンバーの間で捕捉され、 圧縮されながら排気口に運ばれます。このプロセス中に、スクリューローターが互いに接触したり、シリンダーと接触したりすることはありません。

COBRA BCシリーズのメリット
COBRA BC真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバーの用途に最適です。その他の用途としては、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセス、シリコンエッチングなどが挙げられます。特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。COBRA BC真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。
COBRA BC真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。COBRA BCシリーズの真空ポンプには、効率的な直接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度が均一に保たれ、 プロセス全体を通じた熱的安定性も保たれます。
完全にオープンな通信プロトコル (Modbus TCP-IP) で、すべての機能を制御できます。これには、アイドリングモードや可変速ドライブも含まれます。この通信プロトコルにより、一般的なインターフェースを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。
直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BCシリーズは非常にコンパクトです。設置場所を選ばない設計のため、既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。

半導体のライト～ミディアムプロセス向けに理想的なソリューション
・高度なスクリュー設計
・ドライかつ非接触式の動作原理
・独自のフライングベアリング設計
・カンチレバー構造
・設置場所を選ばないコンパクト設計
・直接水冷方式
・完全にオープンな通信プロトコル

型番
COBRA DS 0600 E 50Hz

シリーズ
COBRA SEMICON

取扱企業
日本ブッシュ株式会社

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COBRA SEMICON COBRA DS 0600 E 50Hzの性能表

商品画像	価格 (税抜)	到達真空度到達真空度	騒音値(ISO2151)	窒素消費量	定格モーター出力	外形寸法(LxWxH)	定格モーター回転数	設計排気速度	使用水量	質量	消費電力(到達真空度時)	ガスインレット	ガスアウトレット
	要見積もり	0.01 hPa 0.01hPa(mbar)	<70dB(A)	0–200l/min	15kW	1654x600x747mm	3600min⁻¹	600m³/h	6l/min	745kg	9kW	DN100	DN63

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使用水量

質量

消費電力(到達真空度時)

ガスインレット

ガスアウトレット

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0.01 hPa

0.01hPa(mbar)

<70dB(A)

0–200l/min

15kW

1654x600x747mm

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日本ブッシュ株式会社は、ブッシュグループの真空ポンプや関連機器の輸入販売を行う産業用機械メーカーです。 2004年に神奈川県平塚市に本社を設立し、システム・販売・物流機能が統合されました。主な事業内容は食品包装用に特...

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