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ウェハサイズ
最大200mm
プラズマ源発生装置
300Wまたは600W
温度範囲
30~550 ℃ (テーブルバイアス使用)
プリカーサ
研究用 (100g まで) 、製造用 (500g まで) のプリカーサオプション 金属液体または固体のラピッドバブリングプリカーサーを最大8個まで使用可能 最大10個のプラズマおよび熱ガスプリカーサ
クラスター化可能モジュール
PECVD、ICPCVD、RIE、スパッタリングモジュール
型番
FlexAL ALDカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年3月25日にレビュー済み
顧客対応への満足度
初回対応までの時間への満足度
22.17時間
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ALD装置の製品60点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
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商品画像 | 価格 (税抜) | ウェハサイズ | プラズマ源発生装置 | 温度範囲 | プリカーサ | クラスター化可能モジュール |
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要見積もり | 最大200mm | 300Wまたは600W | 30~550 ℃ (テーブルバイアス使用) |
研究用 (100g まで) 、製造用 (500g まで) のプリカーサオプション 金属液体または固体のラピッドバブリングプリカーサーを最大8個まで使用可能 最大10個のプラズマおよび熱ガスプリカーサ |
PECVD、ICPCVD、RIE、スパッタリングモジュール |
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