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19 点の製品
神港精機株式会社
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Siウェハ・ガラス・セラミックス等基板・用途を問わず柔軟に対応可能な最新型スパッタリング装置です。 1991年に発表されたR&D用マルチチャンバスパッタリン...
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神港精機株式会社
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省スペースを実現したロードロック式スパッタリング装置です。 カセット室に最大Φ270のトレーが、標準で12枚セット可能で、連続スパッタリングが行えます。 ...
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神港精機株式会社
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各種電子デバイスや高機能材料のR&Dから量産に最適なバッチタイプのスパッタリング装置のラインアップです。 小径カソードにより大面積への均一な成膜を特徴...
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神港精機株式会社
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ガラス基板を対象とした通過成膜型インラインタイプのスパッタリング装置です。 矩形カソードを多元で装備しておりプロセスや生産数に合わせて、成膜室、加...
神港精機株式会社
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樹脂のみならず金属箔の連続巻取り処理を実現したＲtoＲタイプ最新成膜装置です。 カソード・プラズマ処理電極・加熱機構など各機構をユニット化、幅広い用途...
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スパッタ室にて 10⁻⁷Pa のバックグランドの排気性能を持つ超高真空対応の牧葉式スパッタリング装置です。 ロードロック室・カセット室・搬送室・スパッタ室...
神港精機株式会社
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最新の閲覧: 17分前
実験や基礎研究に最適なコンパクトなハード構成です。ローコストで信頼性の高いハードを提供いたします。 ロードロックタイプ装置仕様 ・SRL3320 平行平板型...
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神港精機株式会社
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独自開発による高密度マグネトロンカソード (アーク放電型マグネトロンカソード) を搭載した全自動スパッタリング装置です。 新開発アーク放電型マグネトロン...
神港精機のスパッタリング装置19製品中の注目ランキング
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