神港精機のプラズマCVD装置

神港精機株式会社のプラズマCVD装置1製品が登録されています。 神港精機のその他の取扱カテゴリーには、蒸着装置スパッタリング装置エッチング装置などがあります。

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神港精機株式会社

薄膜形成装置 プラズマCVD装置

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600mm 基板に対応した大型プラズマCVD装置です。 緻密なシリコン酸化膜の形成が可能で薄膜キャパシタの作製に適しています。


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