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神港精機のスパッタリング装置

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2 点の製品

神港精機株式会社

薄膜形成装置 マルチチャンバスパッタリング装置

2070人以上が見ています

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Siウェハ・ガラス・セラミックス等基板・用途を問わず柔軟に対応可能な最新型スパッタリング装置です。 1991年に発表されたR&D用マルチ...


神港精機株式会社

薄膜形成装置 超高真空スパッタリング装置

720人以上が見ています

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スパッタ室にて 10⁻⁷Pa のバックグランドの排気性能を持つ超高真空対応の牧葉式スパッタリング装置です。 ロードロック室・カセット室...




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