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1軸ステージのメーカー46社一覧や企業ランキングを掲載中!1軸ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:ツクモ工学株式会社、2位:シグマ光機株式会社、3位:THK株式会社となっています。 1軸ステージの概要、用途、原理もチェック!
1軸ステージとは、1方向の移動を行う軸を持った位置決めステージのことです。
1軸ステージでは、製品により水平方向や上下方向 (鉛直方向) などの1方向にのみステージが動きます。1軸ステージでは任意の位置での位置決めが可能です。1軸ステージを使用する際は、用途に合わせてステージの可動方向や位置決め精度を考える必要があります。
あくまで1軸であるため、例えば左右方向の移動と前後方向の移動の2軸の移動が必要な場合には2軸ステージを使用する必要があります。マイクロメーターを採用する1軸ステージでは、精度を必要とする位置決めにも対応可能です。
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2025年7月の注目ランキングベスト5
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | ツクモ工学株式会社 |
25.0%
|
2 | シグマ光機株式会社 |
25.0%
|
3 | THK株式会社 |
25.0%
|
4 | 日本精工株式会社 |
12.5%
|
5 | オザック精工株式会社 |
12.5%
|
項目別
使用用途
#半導体検査
#精密計測
#光学調整
#レーザー加工
#バイオ実験
#位置決め制御
#研究開発
駆動方式
ボールねじ駆動型
リニアモータ駆動型
ピエゾ駆動型
案内方式
クロスローラガイド型
制御方式
クローズドループ型
移動範囲 mm
0 - 1
1 - 10
10 - 50
50 - 250
250 - 1,000
可搬質量 kg
0 - 1
1 - 5
5 - 10
10 - 20
20 - 50
分解能 μm
0.01 - 0.1
0.1 - 1
1 - 10
繰り返し位置決め精度 μm
0 - 1
1 - 2
2 - 4
真直度と平坦度 μm
1 - 2
2 - 3
3 - 4
4 - 5
5 - 10
最大速度 mm/秒
1 - 5
5 - 10
10 - 30
40 - 250
250 - 251
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177 点の製品
有限会社ユタカ製作所
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有限会社ユタカ製作所
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手動ハンドル、インジケーター付
有限会社ユタカ製作所
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株式会社日本レーザー
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■特徴 ・クロスローラベアリングを使用した安定性と剛性に優れたステンレス製ステージ ・どの軸についても偏角100mrad未満を保証 ・右手...
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■特徴 ・高い剛性と安定性を持つステンレス製 ・最高の剛性と大きな耐荷重を実現する特殊形状のベアリングすべり溝の採用 ・外形を小さ...
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■特徴 ・クロスローラベアリングによる精密移動と大きな耐荷重 ・すべてのモデルがロック可能 ・干渉計による品質試験で性能を保証 ・左...
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■特徴 ・ボールベアリングによる精密な移動 ・右手仕様と左手仕様のどちらにも対応 ・ニューポートの手動あるいは電動アクチュエータを...
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■特徴 ・e•z•Trac™レールにより非常に柔軟な搭載が可能 ・再配置可能なマイクロメータ位置 ・高い安定性とロック可能
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■特徴 ・特許技術のペグ連結システム ・ボールベアリングによる精密移動 ・移動量は0.5インチ (12.5mm) と1インチ (25.4mm) ・積み重ね...
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■特徴 ・特許技術のペグ連結システム ・ボールベアリングによる精密移動 ・移動量は0.5インチ (12.5mm) と1インチ (25.4mm) ・積み重ね...
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■特徴 ・外部マウント用タブによるクイックインストールが可能 ・薄型XYステージ厚み1インチ (25.4mm) だけ ・偏角はどの軸も150mrad未...
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■特徴 ・コンパクトで積み重ねが可能な設計 ・ステージの両側に機器を取付け可能 ・オールスチール構造 ・超微細80ピッチ、駆動スクリュ
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■特徴 ・0.5または1インチ (13または25mm) 移動 ・積み重ねることでコンパクトなXY配置が可能 ・アダプタブラケットを使ってコンパクト...
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■特徴 ・光学系をビーム経路に正確に出し入れ ・ビーム経路から手を安全に保護 ・ロック付きの便利で調整可能な磁気ストップ ・50.8mmの...
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■特徴 ・薄型 ・高精度80TPI調節 ・高耐荷重/サイズ比 ・ゼロバックラッシュ ・< 0.01mradのウォブル ・16種類以上の組み立てが可能
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■特徴 ・薄型 ・高精度80TPI調節 ・高耐荷重/サイズ比 ・ゼロバックラッシュ ・< 0.01mradのウォブル ・16種類以上の組み立てが可能
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■特徴 ・予荷重をかけたユニークなアリ機構スライド ・迅速な位置決め ・両方の側からの調整が可能 ・つまみスクリューによるロック
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■特徴 ・予荷重のかかった安定したアリ機構を採用 ・内蔵の80ピッチドライブで1mmの感度を実現 ・1軸または多軸バージョン ・インチまた...
7種類の品番
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■特徴 ・特許技術のペグ連結システム ・セットしてロックするだけ ・ベアリングステージよりもはるかに衝撃や振動に強い ・80TPI精密ド...
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■特徴 ・セットしてロックするだけ ・ベアリングステージよりもはるかに衝撃や振動に強い ・80TPIの精密ドライブスクリュー ・不用意に...
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■特徴 ・セットしてロックするだけ ・ベアリングステージよりもはるかに衝撃や振動に強い ・80TPIの精密ドライブスクリュー ・不用意に...
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■特徴 ・セットしてロックするだけ ・ベアリングステージよりもはるかに衝撃や振動に強い ・80TPIの精密ドライブスクリュー ・不用意に...
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LaserClean™ シリーズは、揮発性有機化合物 (VOC) を低減し、高い清浄度に対応した、オプトメカニカル製品及び光学ブレッドボードのシリ...
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株式会社工苑
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ナノモーションの標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モ...
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北野精機株式会社
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100.0% 返答率
24.9時間 返答時間
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ツクモ工学株式会社
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0.5時間 返答時間
■概要 ・X軸ラックピニオンステージは、ロングストロークの粗動調整に優れたX軸ステージです。 ・移動用ツマミを回すと、20mm/回転で素...
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■概要 ・アルミ製軽量型・X軸ネジ送りステージは、従来製品の本体材質をアルミにすることで小型軽量化した製品です。 ・薄型化・軽量化...
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ツクモ工学株式会社
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■概要 ・Z軸ラックピニオンステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・移動用ツマミを回す...
ツクモ工学株式会社
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最新の閲覧: 17時間前
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■概要 ・Z軸ネジ送りステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式はネジ式 (P=0.5m...
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ツクモ工学株式会社
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■概要 ・Z軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式はマイクロ...
6種類の品番
ツクモ工学株式会社
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■概要 ・Z軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式にマイクロメータヘ...
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■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...
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ツクモ工学株式会社
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■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...
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■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度で軽量な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを...
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■概要 ・大型X軸ステージは、駆動方式に台形ネジとハンドル操作を採用することにより、ロングストロークの移動調整が可能なX軸ステージ...
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■概要 ・X軸自動ステージは、リニアブッシュとモータ駆動を組み合わせたシンプルな構造の制御式のX軸ステージです。 ・センサー配置は前...
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ツクモ工学株式会社
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ツクモ工学株式会社
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株式会社タツタ
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神津精機株式会社
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神津精機株式会社
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株式会社柳生商会
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株式会社柳生商会
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■特徴 ・Z軸及びX軸方向へのロングストローク移動が可能です。 ・駆動方式は大型ハンドル操作のネジ送り式 (ピッチ2mm) で操作します。 ...
THK株式会社
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■ミニチュアタイプ VRT/VRT-A形 クロスローラーテーブルは、高精度に加工されたテーブルとベースの間に、クロスローラーガイドを組込ん...
THK株式会社
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1.6時間 返答時間
■クロスローラーテーブル VRU形 クロスローラーテーブルは、高精度に加工されたテーブルとベースの間に、クロスローラーガイドを組込ん...
バキュームプロダクツ株式会社
250人以上が見ています
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■概要 XYステージと組み合わせて、XYZステージとして使用することが可能で、外形に台形ネジを配置した省スペースなZ移動機構です。 ■特...
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
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■特徴 ・テーブル20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ ・小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い精密クロスローラ...
ワイヤード株式会社
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5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブル、移動量4mmの自動水平面型Z軸ステージと...
ワイヤード株式会社
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手動のステンレスステージ (移動量13mm) で、真空内やクリーンルーム耐熱仕様の用途で使用可能です。真空グリスに交換出来ます。
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数mm~数十mmのストロークを20~40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®...
THKプレシジョン株式会社
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数mm~数十mmのストロークを20~40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®...
シグマ光機株式会社
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■概要 M20.32の対物レンズアダプターを取り付け済みのCageフォーカスステージです。 ■ご注意 ・ロッドの取付けを強く締めすぎたり、締...
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■概要 M20.32の対物レンズアダプターを取り付け済みのCageフォーカスステージです。マイクロを使用して光軸方向へ微調することができま...
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■概要 コアユニットのホルダ部品を取り付け、光軸方向に微調整できるステージユニットです。 アルミガイド底面からの光軸高さが30mmのホ...
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■特長 当社の手動ステージの中で最薄10mmを実現した高剛性に優れた直動ステージです。従来品 (TSDシリーズ) と比較し、ステージ厚さ40%...
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スチール製のステージ本体と移動テーブルには、焼入れ処理が施され、直接ガイド加工が施されており、非常に耐久性に優れた直動ステージ...
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焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
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焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度、高剛性ステンレスステージです。テーブル面サ...
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シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性、軽量化を実現しました。 ■詳細 ・位置、アライメン...
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■特長 手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置...
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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。 ■詳細 ・ステージ面が長方形で、長い移...
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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。 ■詳細 ・ステージ面が長方形で、長い移...
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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ステージ面が長方形の軽量で高精度な直動ステージです。 ■詳細 ・駆動はネ...
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アリ溝ガイド、ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。 ■詳細 ・動作頻度が比較的少ない箇所や細かい調整用...
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アリ溝ガイド、ネジ送り調整方式により、細かな調整用途に適したネジ送りステージです。 ■詳細 送りハンドルは、操作効率を高めます。
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アルミを使用した軽量なアリ式ステージです。アリ溝ガイド、ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要...
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アリ溝ガイド、ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。 ■詳細 ・テー...
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アリ溝ガイド、ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
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動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量を確保したい場合に適します。装置組込み等に有効です
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X軸方向調整用のロングストロークタイプのネジ送りステージです。 ■詳細 ・移動ガイドがリニアベアリング、送りネジが2mmピッチ (LST-1...
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■特長 テコの原理を利用して水平方向のマイクロメータ操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。ガイドのR溝に対し、スチールボール4点...
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ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化したZ軸ステージです。 ■詳細 焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド...
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マイクロメータヘッドを移動するステージ側に、マイクロあてをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。 ■詳...
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■特長 マイクロメータヘッドを移動するステージ側に、マイクロ当てをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。...
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焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度、高剛性ステンレスステージです。 ■詳細 本体...
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焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度、高剛性ステンレスステージです。 ■詳細 本体...
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シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性、軽量化を実現しました。 ■詳細 ・位置、アライメン...
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■特長 手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができる垂直面取付タイプのZ軸ステージです...
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■特長 ・ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージです。 ・移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑ら...
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突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用Z軸ステージです。 ■詳細 ・動作頻度が...
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使用頻度が多く素早い動きと大きく移動量が必要な場合に最適なZ軸ラックピニオンステージです。
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水平面方向のマイクロメータを操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。
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当社独自の調整技術により極めて高い平行度を実現したZ軸精密ステージです。 ■詳細 ・LJタイプは、上下板の材質が鉄のプレート (マグネ...
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ジャッキスクリュー方式を使用した、薄型なステージ面の大型ステージです。 ■詳細 ・側面のハンドルを回すことで、ステージ上面が上下...
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■特長 スチールステージTSDシリーズと構造、性能が同等で、クリーンルーム、真空用途に適した直線移動ステージです。全てステンレス材を...
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■特長 スチールステージTSDシリーズと構造、性能が同等で、クリーンルーム、真空用途に適した直線移動ステージです。全てステンレス材を...
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■特長 スチールステージTSDシリーズと構造、性能が同等で、クリーンルーム、真空用途に適した直線移動ステージです。全てステンレス材を...
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高剛性、高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。 ■詳細 レールの形状は、U字形...
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高剛性、高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が...
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ステージの昇降構造として、クサビ機構を採用した薄型の水平面Z軸ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造) とボ...
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小型、薄型、高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造、TAMM40は除...
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精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度X軸ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従...
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ボールネジとボールガイドを採用した、高精度、耐久性に優れた自動直動ステージです。 ■詳細 ・ボールネジを採用したことで、従来のTSD...
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テーブル面サイズ25×25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設...
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テーブル面サイズ25×25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設...
日本パルスモーター株式会社
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■シャフトモーターSX100採用 ストローク50mm ・SPSナノポジショニングシリーズは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合せ持...
1軸ステージとは、1方向の移動を行う軸を持った位置決めステージのことです。
1軸ステージでは、製品により水平方向や上下方向 (鉛直方向) などの1方向にのみステージが動きます。1軸ステージでは任意の位置での位置決めが可能です。1軸ステージを使用する際は、用途に合わせてステージの可動方向や位置決め精度を考える必要があります。
あくまで1軸であるため、例えば左右方向の移動と前後方向の移動の2軸の移動が必要な場合には2軸ステージを使用する必要があります。マイクロメーターを採用する1軸ステージでは、精度を必要とする位置決めにも対応可能です。
1軸ステージは、位置決めや調整などを目的として検査装置などの装置で使用されます。ガイド機構や送り機構の違いによって、精度はさまざまです。
また、ガイド機構や送り機構によって1軸ステージの特長も異なります。そのため、使用目的や条件に合った1軸ステージの選定が必要です。
なお、1軸ステージの使用例は以下の通りです。
1軸ステージは基本的にガイド機構・送り機構・クランプ機構の3つの機構により構成されています。3つの機構の組合せにより1軸ステージの精度などを変更できます。
以下、ガイド機構と送り機構の代表的な方式を説明します。
ガイド機構には、大まかに3種類の機構があります。
アリ溝方式
台形状のアリ溝とアリ溝の収まるアリほぞを利用したガイド機構です。アリ溝とアリほぞの間の摩擦係数が高いため、精度の高い位置決めには不向きです。一方、コストが抑えられるので、簡単な位置決めを行う用途には向いています。
クロスローラ方式
ローラーが内蔵されるスライダーとV溝が形成されるレールを利用したガイド機構です。レールに沿ってスライダーが移動するときに、V溝の中でローラーが転がります。剛性が高いのが特長です。また、低摩擦で微小な送りができるため、正確な位置決めに向いています。
ボール方式
ボールが内蔵されるスライダーと円弧状のR溝が形成されるレールを利用したガイド機構です。レールに沿ってスライダーが移動するときにR溝の中でボールが転がります。クロスローラ方式と同様に正確な位置決めに適しています。
送り機構には、おおまかに3種類の機構があります。
ラック&ピニオン
ラックギアが形成されるレールとピニオンと呼ばれる歯車を利用した送り機構です。送り速度が速い点が特長ですが、精密な位置決めには不向きです。
送りねじ
おねじとめねじを利用したねじ方式の送り機構です。例えば、ボールねじがこの送り機構に該当します。細かな送りは可能ですが、送り速度が遅いため、長いストロークでの位置決めには不向きです。
マイクロメーター
送りねじよりも細かな精度での送りが可能なねじ方式の送り機構です。送りねじよりも精密な送りが可能ですが、送りねじよりも送り速度は遅くなるため、長いストロークでの調整には向いていません。
1軸ステージには、直動ステージと回転ステージ、ゴニオステージがあります。
直動ステージは、水平方向または上下方向の1方向に直線移動するステージを持つ1軸ステージです。
回転ステージは、上下方向を回転の軸方向として回転するステージを持つ1軸ステージです。
ゴニオステージでは、ステージの垂線上の一点を回転中心にしてステージが円弧状に移動します。ステージの傾斜角度を調整できます。
1軸ステージは手動で操作するものに限らず、駆動をモーターで行うものもあります。この場合、位置決めの精度は、送り機構の精度とモーターの分解能によって決まります。
そのため、モーターの仕様も重要です。一般的に、精密な位置決めを行う場合には、サーボモーターやステッピングモーターが使用されます。
参考文献
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0039.html
https://jp.misumi-ec.com/maker/misumi/mech/product/xy/faq/faq01.html