小型エッチング装置 AEP-3000S
アクテス京三株式会社

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この製品について

■特徴・外装に硬質塩ビを採用したことにより、防錆効果が向上
・処理部と電装部を別体とすることにより、腐食等による粉塵の発生を抑えクリーンな環境を保持
・耐薬品性の高いPTFE製一体成型チャンバーを採用
・エッチング、リンス、振切りを任意に設定したプログラムにより、連続処理が可能
・プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能
・お客様の仕様にあわせてカスタマイズ可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
小型エッチング装置 AEP-3000S

取扱企業
アクテス京三株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

エッチング装置

半導体製造

半導体製造装置

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小型エッチング装置 AEP-3000S 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	処理能力	プログラム設定	回転数	開店時間	チャンバー	ノズル	使用薬液	真空スイッチ開閉圧	局所排気	電源	外形寸法本体 (mm)	外装仕様	重量
	AEP-3000D	要見積もり	φ2インチ~φ6インチまたは、100mmx100mm (角形) 1枚	1プログラム最大99ステップ/50プログラムを保存可能	0~3,000rpm	0~999sec	オールテフロン製	薬液:2系統リンス:1系統	酸素溶剤	-300mmmHg以下	排気ポート (0.3m3/分)	AC100V 6A 50/60Hz	55Wx500Dx620H	SUS304製	約45kg