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研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | システム構成 | 基板サイズ | 操作圧力 (Pa) | 面内・面間均一性 | 基板温度制御 |
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NE-550EX |
要見積もり | 研究開発/プロトタイプ装置+Load Lock室 | ~150mm | 0.07~6.7 | ±3% max. | 静電チャック |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。