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シリーズ
バッチ式自然酸化膜除去装置 RISETM-300取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | プラズマ源 | 装置構成 | 基板サイズ | 基板ステージ | 排気系 | 制御系 | ガス導入系 | アプリケーション | 主電源1 | 主電源2 | ポンプラック | 冷却水 本機用 | 冷却水 DRP・チラー用 | 圧縮空気 | 窒素ガス | プロセスガス | 排気 本機 | 排気 ガスボックス排気 (可燃ガス側) | 排気 ガスボックス排気 (支燃ガス側) | 排気 ポンプラック排気 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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RISETM-300 |
要見積もり |
マイクロウェーブ電源 |
EFEM+LL+PM |
φ300mm |
セラミックボート (50枚/バッチ) |
メカニカルブースターポンプ+DRP |
FAPC+TFTタッチパネル |
3系統 |
SAC、キャパシタ、エピタキシャル成長サリサイド形成時の前処理 |
AC±208V,50/60Hz,3φ118A,41kVA |
AC±208V,50/60Hz,3φ83A,28.6kVA |
AC200V,50/60Hz,3φ86.5A,30kVA |
0.2~0.5MPa |
0.2~0.5MPa |
0.4~0.7MPa |
0.6~0.9MPa |
0.6~0.9MPa |
20m3/min |
2.0m3/min |
0.3m3/min |
10.5m3/min |
