バッチ式自然酸化膜除去装置 RISETM-300
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェーハ200mm、300mmをラインアップしています。■用途
・セルフアラインコンタクト形成時の前処理 ・キャパシタ形成時の前処理 ・エピタキシャル成長時の前処理 ・Co (Ni) サリサイドの前処理■特長
・高スループットと低CoOの実現 ・良好なエッチング均一性 (< ±5%/バッチ) と再現性 ・ドライプロセス ・ダメージフリー (リモートプラズマと低温プロセス) ・セルフアラインコンタクトの抵抗を従来のウェットプロセスの1/2に低減 ・フレキシブルな装置レイアウト ・メンテナンス性を重視 (サイドメンテフリー) ・300mmウェーハ50枚一括のバッチ処理-
シリーズ
バッチ式自然酸化膜除去装置 RISETM-300
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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バッチ式自然酸化膜除去装置 RISETM-300 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | プラズマ源 | 装置構成 | 基板サイズ | 基板ステージ | 排気系 | 制御系 | ガス導入系 | アプリケーション | 主電源1 | 主電源2 | ポンプラック | 冷却水 本機用 | 冷却水 DRP・チラー用 | 圧縮空気 | 窒素ガス | プロセスガス | 排気 本機 | 排気 ガスボックス排気 (可燃ガス側) | 排気 ガスボックス排気 (支燃ガス側) | 排気 ポンプラック排気 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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RISETM-300 |
要見積もり | マイクロウェーブ電源 | EFEM+LL+PM | φ300mm | セラミックボート (50枚/バッチ) | メカニカルブースターポンプ+DRP | FAPC+TFTタッチパネル | 3系統 | SAC、キャパシタ、エピタキシャル成長サリサイド形成時の前処理 | AC±208V,50/60Hz,3φ118A,41kVA | AC±208V,50/60Hz,3φ83A,28.6kVA | AC200V,50/60Hz,3φ86.5A,30kVA |
0.2~0.5MPa 水温20~25℃ 流量20L/min×2系統 |
0.2~0.5MPa 水温20~25℃ 流量15L/min |
0.4~0.7MPa | 0.6~0.9MPa | 0.6~0.9MPa | 20m3/min | 2.0m3/min | 0.3m3/min | 10.5m3/min |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
