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研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570-NLD-570
研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570-アルバック販売株式会社

研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570
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■概要

研究開発向けNLDドライエッチングNLD-570は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ (NLD) による低圧・低電子温度・高密度プラズマを搭載したドライエッチング装置です。

■用途

光デバイス (回析格子や変調器、光導波路や光スイッチ等々) 、凹凸型のマイクロレンズ、フォトニック結晶、流体経路 (μ-TAS) 作成など。

■特長

・NLDはICP方式に比して更なる低圧・高高密度・より低電子温度プラズマのため石英・ガラス、水晶やLN、LT基板等の加工に。 ・パイレックスやホウケイ酸ガラスなど不純物の多いガラス加工も形状や表面平滑性に優れたエッチングが可能 ・石英やガラスのディープエッチング (100μ m以上) にもマスクとして厚膜レジストの使用が可能。 ・高速エッチングが可能 (石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min) ・カセット室追加が可能。

  • シリーズ

    研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570

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研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570 品番1件

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研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570-品番-NLD-570

NLD-570

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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