オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ (NLD) 源を搭載した量産用ドライエッチング装置です。 (アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ (NLD) による低圧・低電子温度・高密度プラズマを搭載したドライエッチング装置。)■用途
・光デバイス (回析格子や変調器、光導波路や光スイッチ等々) 、凹凸型のマイクロレンズ。 ・流体経路作成 (μ-TAS) やフォトニック結晶。■特長
・クリーンルーム内作業で2室 (NLDや有磁場ICP、CCPやアッシング室) への拡張ができる。 ・NLDは時空間制御が可能なプラズマのためドライクリーニングが容易。 ・簡単なチャンバーメンテナンスを実現。 ・マスクエッチングから石英・ガラスのエッチングまでプロセスソリューションを提供。 ・半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制。-
シリーズ
オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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NLD-5700 |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
