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オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700-NLD-5700
オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700-アルバック販売株式会社

オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700
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■概要

オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ (NLD) 源を搭載した量産用ドライエッチング装置です。 (アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ (NLD) による低圧・低電子温度・高密度プラズマを搭載したドライエッチング装置。)

■用途

・光デバイス (回析格子や変調器、光導波路や光スイッチ等々) 、凹凸型のマイクロレンズ。 ・流体経路作成 (μ-TAS) やフォトニック結晶。

■特長

・クリーンルーム内作業で2室 (NLDや有磁場ICP、CCPやアッシング室) への拡張ができる。 ・NLDは時空間制御が可能なプラズマのためドライクリーニングが容易。 ・簡単なチャンバーメンテナンスを実現。 ・マスクエッチングから石英・ガラスのエッチングまでプロセスソリューションを提供。 ・半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制。

  • シリーズ

    オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700

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オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700 品番1件

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オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700-品番-NLD-5700

NLD-5700

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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