量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張性あるエッチング装置です。■用途
・化合物 (LEDやLD、高周波デバイス) やパワーデバイス (IGBT配線加工、SiC加工) 。 ・メタル配線や層間絶縁膜 (樹脂系) 、ゲート電極加工プロセスに。 ・強誘電体材料や貴金属エッチングに。 ・磁性体材料加工に。■特長
・1チャンバー以外にさらに有磁場ICP (ISM) やNLDプラズマ源、アッシングチャンバーやCCPチャンバーが搭載可能で多用なエッチングプロセスに対応。 ・プロセス再現性や安定性のためのスター電極や各種温調機能を搭載。 ・容易なメンテナンス構造で最小のダウンタイム、再生洗浄やパーツ提供、メンテナンスやトレイニングサービス等の総合バックアップ体制。 ・半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制。-
シリーズ
量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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NE-5700/NE-7800 |
要見積もり |
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