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量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800-NE-5700/NE-7800
量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800-アルバック販売株式会社

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■概要

量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張性あるエッチング装置です。

■用途

・化合物 (LEDやLD、高周波デバイス) やパワーデバイス (IGBT配線加工、SiC加工) 。 ・メタル配線や層間絶縁膜 (樹脂系) 、ゲート電極加工プロセスに。 ・強誘電体材料や貴金属エッチングに。 ・磁性体材料加工に。

■特長

・1チャンバー以外にさらに有磁場ICP (ISM) やNLDプラズマ源、アッシングチャンバーやCCPチャンバーが搭載可能で多用なエッチングプロセスに対応。 ・プロセス再現性や安定性のためのスター電極や各種温調機能を搭載。 ・容易なメンテナンス構造で最小のダウンタイム、再生洗浄やパーツ提供、メンテナンスやトレイニングサービス等の総合バックアップ体制。 ・半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制。

  • シリーズ

    量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800

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量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800 品番1件

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量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800-品番-NE-5700/NE-7800

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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