枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。■用途
低温P-Si、α-Si TFT■特長
・従来のプロセス温度に比べ、より高温でも動作可能な各ユニットの駆動系、真空搬送ロボットの開発により安定した搬送系を実現しました。 ・反応室内部構造、ガス供給システムの改良により TEOS (SiO2) 膜の長期的に安定したレートを得ることができます。 ・反応ガス経路の加熱化により除外設備までガス状態で排気でき、配管トラップ未使用にて配管等に副生成物の付着を抑制し、メンテナンス時間の短縮が可能になりました。 ・成膜条件など基板個別管理が容易にできます。-
シリーズ
枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ
-
取扱企業
アルバック販売株式会社
-
カテゴリ
プラズマCVD装置注目ランキング
もっと見る
プラズマCVD装置の製品17点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
プラズマCVD装置注目ランキング (対応の早い企業)
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ (mm) | 仕込取出室 | 加熱室 | 反応室 | 搬送室 | 真空排気系 仕込取出室 反応室 | 基板移載機 | 生産量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
CMD-450BHT |
要見積もり | 400×500×t0.7 | 2室 | 1室 | 4室 (アニール室がある場合3室) | 1室 (7角形) |
ロータリー+メカブ ドライ+メカブ |
オプション |
65秒／枚 (当社標準条件SiN 300nm単層) |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
