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枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ-CMD-450BHT
枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ-アルバック販売株式会社

枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ
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この製品について

■概要

CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。

■用途

低温P-Si、α-Si TFT

■特長

・従来のプロセス温度に比べ、より高温でも動作可能な各ユニットの駆動系、真空搬送ロボットの開発により安定した搬送系を実現しました。 ・反応室内部構造、ガス供給システムの改良により　TEOS (SiO2) 膜の長期的に安定したレートを得ることができます。 ・反応ガス経路の加熱化により除外設備までガス状態で排気でき、配管トラップ未使用にて配管等に副生成物の付着を抑制し、メンテナンス時間の短縮が可能になりました。 ・成膜条件など基板個別管理が容易にできます。

  • シリーズ

    枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ

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枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ (mm) 仕込取出室 加熱室 反応室 搬送室 真空排気系 仕込取出室 反応室 基板移載機 生産量
枚葉式プラズマCVD装置 CMDシリーズ-品番-CMD-450BHT

CMD-450BHT

要見積もり

400×500×t0.7

2室

1室

4室 (アニール室がある場合3室)

1室 (7角形)

ロータリー+メカブ
ドライ+メカブ

オプション

65秒／枚
(当社標準条件SiN 300nm単層)

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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