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熱+プラズマCVD装置-株式会社MPS

熱+プラズマCVD装置
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この製品について

■概要

窒化物を作るための実験装置です。原料は塩化物とアンモニアを使用します。成膜はハロゲンランプ加熱による熱CVDと誘導結合プラズマによるプラズマCVDが選択できます。両方式の併用も可能です。

  • シリーズ

    熱+プラズマCVD装置

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熱+プラズマCVD装置 品番1件

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熱+プラズマCVD装置

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会社概要

株式会社MPSは、2004年に設立した、電子ビーム溶接をはじめとする真空機器の製造・販売をしている会社です。 主な事業内容は、電子ビーム溶接機、成膜装置、真空装置用コンポーネントの製造・販売になります。 真空機器や溶接...

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  • 本社所在地: 千葉県
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