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有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料高速成膜装置-有機材料高速成膜装置
有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料高速成膜装置-北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料高速成膜装置
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この製品について

■特徴

有機EL、有機薄膜太陽電池、有機トランジスタなどの材料開発用実験システムから小規模生産用クラスターシステム、量産対応のインラインシステムといった充実したラインアップをご用意しております。本システムは、高速成膜が可能で、多機能な用途に対応しております。

■用途

・有機EL素子の作製 ・有機薄膜太陽電池の作製 ・有機トランジスタの作製

  • シリーズ

    有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料高速成膜装置

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有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料高速成膜装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 有機蒸発セル 2元金属蒸発セル 排気ポンプ 膜厚計
有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料高速成膜装置-品番-有機材料高速成膜装置

有機材料高速成膜装置

要見積もり

8台

1台

スクロールポンプ： (250L/min) 1台
TMP： (300L/sec) 1台

有機室 (2式・可動式)

フィルターから探す

半導体製造装置をフィルターから探すことができます

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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