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有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.Cluster取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 成膜室 (部屋数) | 蒸着源 (元) | 基板サイズ (inch) | 膜厚分解能 (Å/s) | 膜厚センサー導入数 (基) | 膜厚センサー冷却方式 | 有機材料共蒸着 | 面内分布 (%) | 前処理室 (室) | 導入室ストッカー数 (段) | 到達圧力 (Pa) | 真空排気系 | 入力電源 | 自動排気 | 自動ベント | 自動搬送 | 自動蒸着 | 蒸着時の基板加熱 | グローブボックス接続 | 装置のみ設置スペース (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
KVD-OLED Evo.Cluster |
要見積もり |
有機:2 |
有機:8×2 |
2 |
0.0057Å/s (INFICON社CYGNUS使用) |
有機:8 |
水冷 (チラーより0.01℃まで制御可) |
可 (独自のコントロール手法によりホスト1Å/s時ドープ混合率0.1~30wt%) |
50mmにて有機膜±3%以内 |
1 (プラズマ洗浄) |
12 |
成膜室+その他：10^-6台 |
成膜室：クライオポンプ |
3φ200V200A |
標準装備 |
標準装備 |
標準装備 |
標準装備 |
可 (オプション) |
可 (オプション) |
2,000×2,000 |
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