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有機EL試作用デバイス製造装置 有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System-OTFS R&D System
有機EL試作用デバイス製造装置 有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System-北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System
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■特徴

・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1～3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス、クリーニングの簡単設計

  • シリーズ

    有機EL試作用デバイス製造装置 有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System

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有機EL試作用デバイス製造装置 有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 有機セル 金属セル 基盤サイズ 排気ポンプ 真空計 膜厚計 シャッター パージバルブ 300℃基盤加熱ヒーター
有機EL試作用デバイス製造装置 有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System-品番-OTFS R&D System

OTFS R&D System

要見積もり

2式 (電源コントロール付)

1式 (電源コントロール付)

1~3インチ (最大8枚導入可能)

TMP (63L/sec) ：1台
RP (150L/sec) ：1台

1式

1式

基盤側シャッター1式

1式

1式 (電源コントロール付)

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ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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