有機EL試作用デバイス製造装置 UHV対応型有機EL成膜・評価装置Ⅲ OED R&D SystemⅢ
北野精機株式会社
この製品について
■蒸着室/特徴
・超高真空蒸着 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大9本取付可能 ・基盤サイズ1～3インチと幅広く選択が可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・膜の均一性を図る回転プラットホーム機構 ・蒸着中でのマスク交換が可能 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス、クリーニングの簡単設計■評価室/特徴
・超高真空評価 ・2対マルチプローブ端子構成 ・2枚同時/同条件デバイス評価が可能 ・オプションでQ-Massよるガス分析評価が可能 ・寿命、輝度の簡単評価、測定■ロードロック室
・真空を破壊せず持ち出せるシャトルケース付 ・簡単に基盤の出し入れできるハッチ機構-
シリーズ
有機EL試作用デバイス製造装置 UHV対応型有機EL成膜・評価装置Ⅲ OED R&D SystemⅢ
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取扱企業
北野精機株式会社
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有機EL試作用デバイス製造装置 UHV対応型有機EL成膜・評価装置Ⅲ OED R&D SystemⅢ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 有機セル | 金属セル | 基盤サイズ | 排気ポンプ | 真空計 | 膜厚計 | シャッター | パージバルブ | 300℃基盤加熱ヒーター | ホルダーストック | 2対マルチプローブ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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OED R&D SystemⅢ |
要見積もり | 8式 (電源コントロール付) | 1式 (電源コントロール付) (2元金属蒸着セル) | 1~3インチ (最大4枚導入可能) |
TMP (500L/sec) ：1台 (50L/sec) ：1台 SP (500L/min) ：2台 TMP (250L/sec) ：1台 (50L/sec) ：1台 SP (250L/min) ：1台 |
3式 | 2式 | 基盤側シャッター1式 | 2式 | 1式 (電源コントロール付) | 5枚 (最大6枚) | 1式 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 東京都