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シリーズ
真空ガス置換ポリイミドキュアオーブン 450PB8-2P-CP取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | チャンバー内クリーン度 | 動作温度 | キャパシティ (25枚/カセット) | N2流量 (消費量) | チャンバー内部寸法 (約) ID x D | プロセスエリア寸法 (約) W×D×H | 外形寸法 (約) W×D×H | 制御ユニット寸法 (約) W×D×H | チャンバー材質 | プロセスガス入力 | マスフローコントローラ | レシピ数 | ステップ数 | 設定時間 | 時間設定分解能 | 温度均一性 (25枚/カセット) | 平均加熱レート (150-450℃) | 平均冷却レート (450-150℃) | 酸素濃度 | 電源電圧 | 重量 (約) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
450PB8-2P-CP |
要見積もり |
Class 10 |
Class 1 |
室温 – 450℃ (オプション550℃) |
8″ ウェハ |
1 SCFM (15-25 liters/min) |
37×66.5cm |
24×46×25cm |
69×146×78cm |
59×96×24 cm |
SUS 316L |
標準 1系統 (オプション3系統) |
オプション (最大3系統付与可能) |
8 |
16 |
0–99時間 |
1分 |
±5℃ |
7.5℃/分 |
4.5℃/分 |
10 ppm以下 |
三相 208V 40A 50/60Hz |
261 kg |
