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加熱機器・高温加熱炉/HighTempratureOven 超高温ウエハ加熱装置 RPシリーズ-株式会社MSAファクトリー

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この製品について

■主な用途

ウエハ加熱をはじめ、材料のベーキング、評価等に最適です。空気加熱等に比較し、ホットプレートによる熱伝導での加熱ですので、高速・短時間での熱処理、ベークが可能です。最高温度　850℃と1,000℃まで、また、サイズは□85mm、□200mmの2サイズを取り揃えています。石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。

■MSAファクトリー加熱ノウハウ

素材 (超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ) ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

■高性能・多機能温度コントローラ

タッチパネル式温度コントローラ (PCC118-W-TP) は、高精度の温度コントロールの他、安全性の監視、温度データ取得など、様々な機能がございます。

■安全性

過昇温監視機能、非常停止機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能がコントローラ (PCC118-W-TP) に装備されています。

  • シリーズ

    加熱機器・高温加熱炉/HighTempratureOven 超高温ウエハ加熱装置 RPシリーズ

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加熱機器・高温加熱炉/HighTempratureOven 超高温ウエハ加熱装置 RPシリーズ 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜)
プレート材質
適合温度コントローラ
オプション
加熱機器・高温加熱炉/HighTempratureOven 超高温ウエハ加熱装置 RPシリーズ-品番-RP8008

RP8008

要見積もり

850℃

80×80mm

超耐熱合金

AC100V

PCC100G、PCC118-W-TP

両面加熱ホットプレート構造で高温まで高速加熱

石英ガラスベルジャー、
不活性ガス雰囲気、
ベルジャーハンドリングジグ

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RP8020

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AC100V

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加熱機器・高温加熱炉/HighTempratureOven 超高温ウエハ加熱装置 RPシリーズ-品番-RP10008

RP10008

要見積もり

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80×80mm

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AC200V

PCC100G、PCC118-W-TP

超高温1,000℃まで対応、
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石英ガラスベルジャー、
不活性ガス雰囲気、
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RP10020

要見積もり

1,000℃

220×220mm

超耐熱合金

AC200V

PCC100G、PCC118-W-TP

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレートなどの生産・研究機器の開発・製造・販売を中心に手掛けている企業です。 2007年に設立され、当初は冶工具や加工部品の製作請負を行っていました。その後、加熱関係事業に参入...

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  • 本社所在地: 東京都

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