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シリーズ
加熱機器・高温加熱炉/HighTempratureOven 超高温ウエハ加熱装置 RPシリーズ取扱企業
株式会社MSAファクトリーカテゴリ
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半導体製造装置の製品183点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最高温度 | プレートサイズ | プレート材質 | 電源電圧 | 適合温度コントローラ | 特長 | オプション | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
RP8008 |
要見積もり |
850℃ |
80×80mm |
超耐熱合金 |
AC100V |
PCC100G、PCC118-W-TP |
両面加熱ホットプレート構造で高温まで高速加熱 |
石英ガラスベルジャー、 |
|
![]() |
RP8020 |
要見積もり |
850℃ |
220×220mm |
超耐熱合金 |
AC100V |
PCC100G、PCC118-W-TP |
両面加熱ホットプレート構造で高温まで高速加熱 |
石英ガラスベルジャー、 |
|
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RP10008 |
要見積もり |
1,000℃ |
80×80mm |
超耐熱合金 |
AC200V |
PCC100G、PCC118-W-TP |
超高温1,000℃まで対応、 |
石英ガラスベルジャー、 |
|
![]() |
RP10020 |
要見積もり |
1,000℃ |
220×220mm |
超耐熱合金 |
AC200V |
PCC100G、PCC118-W-TP |
超高温1,000℃まで対応、 |
石英ガラスベルジャー、 |
半導体製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 1 - 2 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260