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XYZ3軸ステージシステム-XYZ-SLC1722
XYZ3軸ステージシステム-株式会社フィジックステクノロジー

株式会社フィジックステクノロジーの対応状況

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この製品について

SmarAct社では、お客様から特に好評が高い代表的な多軸システムをシリーズ化しました。これらのシステムをベースに更にステージを追加することも可能です。

■XYZ3軸ステージシステム

SLCシリーズ及びCLSシリーズを使ったXYZ3軸ステージシステムです。

  • シリーズ

    XYZ3軸ステージシステム

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最新の閲覧: 9時間前


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XYZ3軸ステージシステム 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 移動距離 使用ステージ 耐荷重 外形 (ベースプレート含む) 外形 (ステージのみ) 分解能 (Closed loop時)
XYZ3軸ステージシステム-品番-XYZ-SLC1722

XYZ-SLC1722

要見積もり

X=12mm, Y=12mm, Z=12mm

SLC-1720

1.5N

65x65x41mm

34x22x36mm

1nm (Sセンサ)

フィルターから探す

精密ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県
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