3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ ピーアイ・ジャパン株式会社
ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
0.6時間
この製品について
■特徴
・X 軸と Y 軸の平行運動学により、応答時間が短縮され、多軸精度が向上します ・移動範囲300x300x300μm ・静電容量センサーによる最高の直線性 ・ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム ・優れたスキャニング平坦度 ・ハイダイナミクスなXYZバージョンをご用意 ・有効開口部66 mmx66mm ・PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命 ・UHVバージョン10-9hPa 概要■応用分野
走査型顕微鏡検査/干渉計/マスク.ウエハー位置決め/計測技術/バイオテクノロジー/ スキャニングとスクリーニング■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供します。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。■ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス,摩擦摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します。■自動構成と高速コンポーネント交換
メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。■並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度
すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。軸間の望ましくないクロストークは、リアルタイムでアクティブに補正 (アクティブガイド) できます (帯域幅によって異なります) 。動的動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。-
シリーズ
3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ
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取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
位置決めステージ注目ランキング
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3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ 品番7件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | クローズドループ | 内蔵センサー | 移動範囲 (-20~120V) オープンループ時 | 移動範囲 (クローズドループ時) | Z軸分解能 (オープンループ時) | リニアリティエラー (θX,θY) | 再現性X、Y、Z | ピッチング (X、Y) | クロストークθX,θY (Z方向へ動作時) | ヨーイング (X,Y) | 平坦度 (X、Y) | クロストーク (X、Y) (Z方向へ動作時) | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 共振周波数@330g (X,Y,Z) | 負荷容量 | ピエゾセラミック | 電気容量 (X,Y,Z) | 動作温度範囲 | 材料 | 質量 | センサー/ボルト接続 | 推奨コントローラ | 共振周波数@100g (X,Y,Z) |
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P-561.3CD |
要見積もり | 100 × 100 × 100 µm | 静電容量 | 150 × 150 × 150 μm | 0.8 μm | 0.2 nm | 0.03 % | 2 / 2 / 2 nm | ±1 µrad | ±15 µrad | ±6 µrad | ±15 nm | ±30 nm | 190 / 190 / 380 Hz | 140 / 140 / 300 Hz | 5 kg |
PICMAPICM A P-885 |
5.2 / 5.2 / 10.4 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg |
CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 | - | |
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P-561.3CL |
要見積もり | 100 × 100 × 100 µm | 静電容量 | 150 × 150 × 150 μm | 0.8 μm | 0.2 nm | 0.03 % | 2 / 2 / 2 nm | ±1 µrad | ±15 µrad | ±6 µrad | ±15 nm | ±30 nm | 190 / 190 / 380 Hz | 140 / 140 / 300 Hz | 5 kg |
PICMAPICM A P-885 |
5.2 / 5.2 / 10.4 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg |
CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 | - | |
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P-562.3CD |
要見積もり | 200 × 200 × 200 µm | 静電容量 | 300 × 300 × 300 μm | 1 μm | 0.4 nm | 0.03 % | 2 / 2 / 4 nm | ±2 µrad | ±20 µrad | ±10 µrad | ±20 nm | ±50 nm | 160 / 160 / 315 Hz | 130 / 130 / 195 Hz | 5 kg |
PICMAPICM A P-885 |
7.4 / 7.4 / 14.8 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg |
CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 | 145 / 145 / 275 Hz | |
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P-562.3CL |
要見積もり | 200 × 200 × 200 µm | 静電容量 | 300 × 300 × 300 μm | 1 μm | 0.4 nm | 0.03 % | 2 / 2 / 4 nm | ±2 µrad | ±20 µrad | ±10 µrad | ±20 nm | ±50 nm | 160 / 160 / 315 Hz | 130 / 130 / 195 Hz | 5 kg |
PICMAPICM A P-885 |
7.4 / 7.4 / 14.8 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg |
CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 | 145 / 145 / 275 Hz | |
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P-563.3CD |
要見積もり | 300 × 300 × 300 µm | 静電容量 | 340 × 340 × 340 μm | 2 μm | 0.5 nm | 0.03 % | 2 / 2 / 4 nm | ±2 µrad | ±25 µrad | ±10 µrad | ±25 nm | ±50 nm | 140 / 140 / 250 Hz | 110 / 110 / 170 Hz | 5 kg |
PICMAPICM A P-885 |
7.4 / 7.4 / 14.8 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg |
CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 | 120 / 120 / 215 Hz | |
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P-563.3CL |
要見積もり | 300 × 300 × 300 µm | 静電容量 | 340 × 340 × 340 μm | 2 μm | 0.5 nm | 0.03 % | 2 / 2 / 4 nm | ±2 µrad | ±25 µrad | ±10 µrad | ±25 nm | ±50 nm | 140 / 140 / 250 Hz | 110 / 110 / 170 Hz | 5 kg |
PICMAPICM A P-885 |
7.4 / 7.4 / 14.8 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg |
CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 | 120 / 120 / 215 Hz | |
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P-561.3DD |
要見積もり | 45x45x15 µm直接駆動 | 静電容量 | 58 × 58 × 18 μm | 0.2 μm | 0.1 nm | 0.01 % | 2 / 2 / 2 nm | ±3 µrad | ±3 µrad | ±3 µrad | ±10 nm | ±20 nm | 920 / 920 / 1050 Hz | 500 / 500 / 470 Hz | 5 kg |
PICMAPICM A P-885 |
38 / 38 / 6 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.55 kg |
CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 | 860 / 860 / 950 Hz |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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