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シリーズ
薄膜・表面改質技術&装置 イオンエッチング装置 IEシリーズ取扱企業
新明和工業株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | サイズ | 質量 | 使用ガス | イオンガン | 最大消費電力 | 炭素系 | 窒化物系 | 金属系 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
IEシリーズ |
要見積もり |
W 2,300mm×D 1,400mm×H 2,350mm |
約 1,600kg |
Ar, O2 |
4, 6, 8基 |
19-31kVA |
ダイヤモンドコート, DLC |
TiN, TiAlN, AlN, AlCrN, TiCrN, CrN etc. |
Si, Cr etc. |