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ウエットライン装置 エッチング剥離ライン-エッチング剥離ライン
ウエットライン装置 エッチング剥離ライン-株式会社ファイコーポレーション

ウエットライン装置 エッチング剥離ライン
株式会社ファイコーポレーション

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この製品について

■装置概要

ドライフィルムのパターン形成において、現像後のワークを投入する事により塩化第二銅にてエッチングを行いその後、苛性ソーダによってドライフィルムを剥離する装置です。この時、ドライフィルムは膨潤剥離型のフィルムとし、剥離片の回収装置がついています。これは剥離液の全量濾過を行うものとします。

  • シリーズ

    ウエットライン装置 エッチング剥離ライン

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ウエットライン装置 エッチング剥離ライン 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜)
ウエットライン装置 エッチング剥離ライン-品番-エッチング剥離ライン

エッチング剥離ライン

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工程分類: エッチング装置

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使用用途

#半導体製造 #ディスプレイ製造 #MEMS加工 #センサー製造 #光デバイス製造 #電子部品製造 #フォトマスク加工 #ウェーハ加工 #ナノ加工 #試作開発 #学術研究

エッチング方式

ウェットエッチング型 ドライエッチング型 イオンビームエッチング型

プラズマ生成方式

高周波プラズマ型 インダクティブプラズマ型 キャパシティブプラズマ型

搬送方式

バッチ式 シングルウェハ式

対象材料

シリコン対応型 化合物半導体対応型 金属膜対応型 絶縁膜対応型

ウェハサイズ mm

50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 350

プラズマソース

CCP型 ICP RF プラズマ マイクロ波

圧力制御

APC制御 FAPC

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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20.8時間

会社概要

株式会社ファイコーポレーションは、プリント配線基板製造ライン機器や産業機械の設計・製造を手掛る会社です。 会社の設立は2001年です。 事業内容は大きく分けてふたつあり、プリント基板製造装置とライン設計、クリーンルー...

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  • 本社所在地: 東京都

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