特注ナノ位置決めステージフレクシャ・スキャナ
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この製品について

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。高精度アライメント用途などのナノポジショナーとして産業分野での高精度マシニング、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適なナノポジショニング製品です。

attocube (アトキューブ) 社のナノポジショナー部門では、圧電モーター (ピエゾ) 駆動ポジショナーの設計、エンジニアリング、製造を通じて、最高の分解能、再現性、安定性を要するアプリケーションのための統合的なナノポジショニングソリューションに注力しています。超高真空や高磁場といった極限環境に対応可能な多彩なラインナップを展開し、ナノメートルの高い精度で、センチメートルオーダーの広い可動範囲の位置決め動作を提供します。
 
ステージの種類は、直進 (リニア) 、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり、いずれのステージ種類にも位置センサ内蔵のクローズドループ制御モデルがございます。モジュール式設計のため、個々のステージ (リニアド、回転、ゴニオ) を組み合わせて、最大6軸までのマルチアクシス (多軸) システムを構築できます。お客様のニーズに合わせた統合ナノポジショニングソリューションの開発も、同社の経験豊富な熟練のエンジニアがお手伝いいたします。

■フレクシャ・スキャナ高周波ナノポジショニング用に開発された高い剛性のピエゾ駆動フレクシャ・スキャナです。個々のストロークで滑らかな動作が得られます。

イメージセンサの補間や安定化など、アプリケーション範囲の拡大に伴って、高帯域幅/高周波数で小～中範囲のサンプル位置決めが必要になります。Attocube社のピエゾフレクシャ技術で、これらの要件の多くを満たすことができます。Attocube社のピエゾフレクシャ・スキャナは、有限要素法 (FEM) と電子放電ミリング (EDM) 装置を用いたラピッドプロトタイピングによって開発された剛性の高い小型デザインです。