熱+プラズマCVD装置
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■概要窒化物を作るための実験装置です。原料は塩化物とアンモニアを使用します。成膜はハロゲンランプ加熱による熱CVDと誘導結合プラズマによるプラズマCVDが選択できます。両方式の併用も可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
熱+プラズマCVD装置

取扱企業
株式会社MPS

カテゴリ

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社MPSは、2004年に設立した、電子ビーム溶接をはじめとする真空機器の製造・販売をしている会社です。主な事業内容は、電子ビーム溶接機、成膜装置、真空装置用コンポーネントの製造・販売になります。真空機器や溶接...

本社所在地: 千葉県

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