ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ | 三弘エマテック株式会社

ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	メーカー	吸気口 VG150、ISO160F VG200、VG250、ISO200F、ISO250F VG250、ISO250F VG300、VG350、ISO320F	排気口	到達圧力【Pa】	排気速度【L/sec】 N2→1,030、Ar→980、H2→660 N2→1,400、Ar→1,330、H2→750 N2→2,100、Ar→2,000、H2→1,380 N2→3,200、Ar→3,100、H2→2,100	圧縮比 N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2 N2→1×10^8以上、He→5×10^3、H2→9×10^2 N2→1×10^9以上、He→1×10^5、H2→6×10^3	最大給気口圧力【Pa】 4.5 7 26	最大排気口圧力【Pa】 200 266 270	回転数【min-1】 37,200 33,700 27,600	回転数可変機構	起動時間【min】 8 9 16	取付方向	表面処理	外部制御 (リモートインターフェース) D-sub25ピンメス接点入出力 D-sub37ピンメス接点入出力	外部制御 (シリアルインターフェース) 専用丸形コネクタ RS232C/RS485 D-sub9ピンオス RS232C/RS485	コントローラ構成	コントローラ電源	コントローラ最大所要動力 0.75kVA 1.2kVA	冷却方式	冷却水流量【L/min】	冷却水水圧【MpaG】	騒音【dB (A) 】 57 60	質量【Kg】 41 43 56 94	推奨補助ポンプ 600L/min以上 1,500L/min以上	適合規格	選択仕様 ACケーブル	選択仕様ポンプ固定用特殊ボルト要否要 (M10) 不要	オプション品	標準付属品
UTM1200A	要見積もり	(株) アルバック	VG150、ISO160F	KF40	1×10-7乗台	N2→1,030、Ar→980、H2→660	N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2	26	266	37,200	ポンプの規定回転数の25%~100％の間で運転回転数の変更可能	8	全方位取付可能	無し	D-sub25ピンメス接点入出力	専用丸形コネクタ RS232C/RS485	ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)	単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)	0.75kVA	水冷	3~4	0.2~0.4	57	43	600L/min以上	CE、TUVus	ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)	要 (M10)	ガスポート用アダプタKF10	給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)
UTM1600A	要見積もり	(株) アルバック	VG200、VG250、ISO200F、ISO250F	KF40	1×10-7乗台	N2→1,400、Ar→1,330、H2→750	N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2	26	266	37,200	ポンプの規定回転数の25%~100％の間で運転回転数の変更可能	8	全方位取付可能	無し	D-sub25ピンメス接点入出力	専用丸形コネクタ RS232C/RS485	ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)	単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)	0.75kVA	水冷	3~4	0.2~0.4	57	41	600L/min以上	CE、TUVus	ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)	不要	ガスポート用アダプタKF10	給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)
UTM2300A	要見積もり	(株) アルバック	VG250、ISO250F	KF40	1×10-7乗台	N2→2,100、Ar→2,000、H2→1,380	N2→1×10^8以上、He→5×10^3、H2→9×10^2	4.5	200	33,700	ポンプの規定回転数の25%~100％の間で運転回転数の変更可能	9	全方位取付可能	無し	D-sub37ピンメス接点入出力	D-sub9ピンオス RS232C/RS485	ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)	単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)	1.2kVA	水冷	3~4	0.2~0.4	60	56	1,500L/min以上	CE、TUVus	ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)	不要	ガスポート用アダプタKF10	給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)
UTM3400A	要見積もり	(株) アルバック	VG300、VG350、ISO320F	KF40	1×10-7乗台	N2→3,200、Ar→3,100、H2→2,100	N2→1×10^9以上、He→1×10^5、H2→6×10^3	7	270	27,600	ポンプの規定回転数の25%~100％の間で運転回転数の変更可能	16	全方位取付可能	無し	D-sub37ピンメス接点入出力	D-sub9ピンオス RS232C/RS485	ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)	単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)	1.2kVA	水冷	3~4	0.2~0.4	60	94	1,500L/min以上	CE、TUVus	ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)	不要	ガスポート用アダプタKF10	給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)