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ナノカーボン材料を合成可能なCVD装置 PNナノカーボン堆積装置 NCD-050W-NCD-050W
ナノカーボン材料を合成可能なCVD装置 PNナノカーボン堆積装置 NCD-050W-株式会社片桐エンジニアリング

ナノカーボン材料を合成可能なCVD装置 PNナノカーボン堆積装置 NCD-050W
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    ナノカーボン材料を合成可能なCVD装置 PNナノカーボン堆積装置 NCD-050W

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ナノカーボン材料を合成可能なCVD装置 PNナノカーボン堆積装置 NCD-050W 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) プラズマ源 水素ラジカル注入用 プラズマ源 メインプラズマ用 チャンバー 基板ステージ ロードロックチャンバー 排気系 TMP 排気系 ドライポンプ 排気系 ゲート弁 排気系 アングルバルブ ガス系 制御系
ナノカーボン材料を合成可能なCVD装置 PNナノカーボン堆積装置 NCD-050W-品番-NCD-050W

NCD-050W

要見積もり

マイクロ派2.45 GHz・1kW.SWP

VHF100 MHz・1kW.CCPシャワーヘッド

SUS304、架台

800℃、2インチ基板×1枚、上下ベローズ

トランスファー含む

800L/sec、50L/sec

1,500/min、90L/minオイルミスト

ICF152、100A

40、25A

CH.AH：B2H6.Ne. Ar.MFCライン.Nパージ
圧空、流量減圧弁、局排ボックス、水素警報器

標準インターロック含む

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使用用途

#センサー開発 #ディスプレイ製造 #バリア膜形成 #研究開発 #光学部品製造 #絶縁膜形成 #太陽電池製造 #電子部品製造 #半導体製造 #表面改質

プラズマ励起方式

容量結合型 誘導結合型 マイクロ波型 パルス電源型

反応場構成

リモート型 平行平板型 シャワーヘッド型 チャンバー分割型

基板処理方式

枚葉式 バッチ式 インライン連続式 立体部品支持式

基板加熱温度 ℃

0 - 300 300 - 500 500 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200

制御操作

PC PLC タッチパネル

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