薄膜形成装置ロードロック式プラズマ重合装置
神港精機株式会社

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この製品について

真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。
生体と接触する被膜の形成などに応用されています。

【特長】
生態適合性に優れた重合膜をドライプロセスで形成します。
量産性に優れており、バイオ・医療分野に薄膜の新たな分野を開拓しています。

親水性・撥水性効果

プラズマ重合技術により形成された薄膜は、ガス種及び成膜条件を最適化することにより各種素材の表面に極めて優れた親水性・撥水性を付加します。
成膜は50℃以下の低温で行える為、各種樹脂素材に高い親水性を与えます。

光学特定※赤外線カット効果

プラズマ重合薄膜は紫外線を透過しない特性があり、光学的にも各分野への対応が期待されています。