プラズマ エッチング装置 EXAM
神港精機株式会社

2周波独立印加方式 ドライエッチング装置

ジャパンクリエイト株式会社

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プラズマ励起化学気相堆積ロセスの柔軟なソリューション PlasmaPro 800 PECVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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低ダメージで平滑な表面が実現 PlasmaPro 100 ALE 原子層エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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DRIEアプリケーション用プラットフォーム PlasmaPro 100 Estrelas DRIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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枚葉式ICP RIEエッチング装置 PlasmaPro 100 Polaris ICP RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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広範なプロセスに対応した等方性・異方性ドライエッチング PlasmaPro 100 RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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便利なオープンローディングで多目的なICPエッチングソリューションを提供 PlasmaPro 80 ICP RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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コンパクトな多様なエッチングとデポジションのソリューション PlasmaPro 80 PECVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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多様なエッチングとデポジションのソリューションを、使い易い大気装入方式で実現 PlasmaPro 80 RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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高密度 プラズマ装置 SWP

神港精機株式会社

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薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置

神港精機株式会社

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薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置

神港精機株式会社

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プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置

神港精機株式会社

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薄膜形成装置 横型蒸着装置

神港精機株式会社

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巻取式 プラズマ処理装置

神港精機株式会社

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薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置

神港精機株式会社

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プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

神港精機株式会社

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薄膜形成装置 大型樹脂基板用蒸着装置

神港精機株式会社

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高密度 プラズマ装置 SWP

神港精機株式会社

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薄膜形成装置 プラズマCVD装置

神港精機株式会社

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ICPプラズマ エッチング装置 SERIO

神港精機株式会社

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薄膜形成装置 ロードロック式 プラズマ重合装置

神港精機株式会社

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