プラズマエッチング装置 EXAM
神港精機株式会社

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この製品について

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。
ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチ処理が可能です。

製品の特長
・250mmの処理ステージを持つバッチ式プラズマエッチング装置
・シリコン、酸化膜、窒化膜だけでなく石英のエッチングにも対応

型番
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シリーズ
プラズマエッチング装置 EXAM

取扱企業
神港精機株式会社

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プラズマエッチング装置 EXAM 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

神港精機株式会社

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

本社所在地: 兵庫県

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