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プラズマクリーナー PSX307-HSA-PSX307-HSA
プラズマクリーナー PSX307-HSA-パナソニック コネクト株式会社

プラズマクリーナー PSX307-HSA
パナソニック コネクト株式会社

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この製品について

■PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、基板寸法により下記2種類のモデルが選択できます。

・Stype基板寸法：L50mm×W20mmtoL250mm×W75mm ・Mtype基板寸法：L50mm×W20mmtoL330mm×W120mm

■特長 (PSX307シリーズ共通)

・面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成 ・独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能 ・当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現 ・オンライン化によるトレーサビリティ確保

■用途例

・ワイヤーボンディング、フリップチップ、ボンディングの接合性向上 ・モールド、アンダーフィルの密着性向上 メンテナンス支援　アプリケーション (PSX307-HSA)

■プラズマクリーナー (PSX307) の設備状態を可視化し、予知保全を支援

・設備状態変化をスコア化し、最適な時期でのメンテナンスを実現 ・最大100台まで状態確認が可能で計画的な運用が可能 ・既存のプラズマクリーナー (PSX307) に適用可能。特殊な改造は不要

  • シリーズ

    プラズマクリーナー PSX307-HSA

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プラズマクリーナー PSX307-HSA 品番1件

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PSX307-HSA

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使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

工程分類

成膜装置 リソグラフィ装置 エッチング装置

搬送方式

バッチ式 シングル式 クラスター式 真空搬送式

成膜方式

化学気相成長型 物理気相成長型 スピンコート型

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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会社概要

パナソニックコネクト株式会社は、パナソニックグループの一員としてサプライチェーン・公共サービス・生活インフラ・エンターテインメントなどのさまざまな分野に向けた製品やソフトウエアを製造・販売している会社です。 2017年...

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