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シリーズ
装置ユニット EX 低イナーシャ高応答 X Yステージ取扱企業
オリムベクスタ株式会社カテゴリ
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精密ステージの製品443点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | ストローク (mm) | メカストッパ間ストローク (mm) | 繰り返し位置決め精度 (mm) | 位置決め精度 (mm) | バックラッシ (mm) | 走り真直度A (上下・左右) (mm) | 走り平行度A (mm) | 直角度A (mm) | ボールねじリード (mm) | 搭載質量 (kg) | ステージ質量 (kg) | モータ軸換算負荷・慣性モーメント X軸 | モータ軸換算負荷・慣性モーメント Y軸 | トップテーブル・ベース材質 | トップテーブル表面処理 | フォトマイクロセンサ形番 | グリース |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
EX0505 |
要見積もり |
THK株式会社 |
50×50 |
54×54 |
±0.001 |
0.005 |
0.001 |
0.004 |
0.015 |
0.005 |
4 |
5 |
20.9 |
0.024kg・cm^2 |
0.027kg・cm^2 |
SS400 |
THK AP–C処理 |
EE–SX671A (コネクタ:EE–1001) |
THK AFCグリース |
精密ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置駆動方式
手動型 電動型 空圧型軸構成
単軸型 二軸型 三軸型 回転型ガイド方式
クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型精度特性
高精度型 長ストローク型 高剛性型アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング