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装置ユニット EX 低イナーシャ高応答 X Yステージ-EX0505
装置ユニット EX 低イナーシャ高応答 X Yステージ-オリムベクスタ株式会社

装置ユニット EX 低イナーシャ高応答 X Yステージ
オリムベクスタ株式会社

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この製品について

特長

■シンプルなXY構造

案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

■優れた応答性

クロスLMガイドCSR※1を高剛性中抜きフレームの四隅に配置し、シンプル・高剛性で高さの低い構造としました。

■高精度位置決め構造

クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。

■高剛性XYステージ

XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

■ガタのない連結機構

X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。

  • シリーズ

    装置ユニット EX 低イナーシャ高応答 X Yステージ

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装置ユニット EX 低イナーシャ高応答 X Yステージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー ストローク (mm) メカストッパ間ストローク (mm) 繰り返し位置決め精度 (mm) 位置決め精度 (mm) バックラッシ (mm) 走り真直度A (上下・左右) (mm) 走り平行度A (mm) 直角度A (mm) ボールねじリード (mm) 搭載質量 (kg) ステージ質量 (kg) モータ軸換算負荷・慣性モーメント X軸 モータ軸換算負荷・慣性モーメント Y軸 トップテーブル・ベース材質 トップテーブル表面処理 フォトマイクロセンサ形番 グリース
装置ユニット EX 低イナーシャ高応答 X Yステージ-品番-EX0505

EX0505

要見積もり

THK株式会社

50×50

54×54

±0.001

0.005

0.001

0.004

0.015

0.005

4

5

20.9

0.024kg・cm^2

0.027kg・cm^2

SS400

THK AP–C処理

EE–SX671A (コネクタ:EE–1001)

THK AFCグリース

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使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

駆動方式

手動型 電動型 空圧型

軸構成

単軸型 二軸型 三軸型 回転型

ガイド方式

クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型

精度特性

高精度型 長ストローク型 高剛性型

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

オリムベクスタ株式会社は、オリエンタルモーターを中心としたさまざまな製品から、最適なFAシステム構築をご提案します。
オリムベクスタは、オリエンタルモーター株式会社の100%出資会社として1984年に設立しました...

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  • 本社所在地: 東京都
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