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装置ユニット DX クロスLMガイド テーブル中抜き X Yステージ-DX0303F
装置ユニット DX クロスLMガイド テーブル中抜き X Yステージ-オリムベクスタ株式会社

装置ユニット DX クロスLMガイド テーブル中抜き X Yステージ
オリムベクスタ株式会社

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この製品について

特長

■中抜き構造

中央を中抜き構造とするため、案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、駆動ボールねじを外側に配置しました。テーブル上のワークを、上面および下面から測定、加工が可能で、さまざまなアプリケーションに応用できます。

■サドルレスXYステージ

クロスLMガイドCSRを高剛性中抜きフレームの四隅に配置し、シンプル・高剛性で高さの低い構造としました。

■高精度位置決め構造

案内部に高精度加工されたクロスLMガイドCSRを採用しているため、高精度なXY構造が得られます。各軸の案内中心と送りボールねじの駆動中心を、ほぼ同一高さに配置した理想的な構造です。これにより姿勢変化の少ない送りが可能となり、高精度な位置決めができます。

  • シリーズ

    装置ユニット DX クロスLMガイド テーブル中抜き X Yステージ

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装置ユニット DX クロスLMガイド テーブル中抜き X Yステージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー ストローク (mm) メカストッパ間ストローク (mm) 繰り返し位置決め精度 (mm) 位置決め精度 (mm) バックラッシ (mm) 走り真直度A (上下) (mm) 走り真直度A (左右) (mm) 走り平行度A (mm) 直角度A (mm) ボールねじリード (mm) 搭載質量 (kg) ステージ質量 (kg) グリース トップテーブル・ベース材質 トップテーブル表面処理
装置ユニット DX クロスLMガイド テーブル中抜き X Yステージ-品番-DX0303F

DX0303F

要見積もり

THK株式会社

30×30

32×32

±0.001

0.015

0.002

0.005

0.004

0.007

0.005

2

5

1.7 (1.5)

THK AFFグリース

SS400

THK AP–C処理

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使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

駆動方式

手動型 電動型 空圧型

軸構成

単軸型 二軸型 三軸型 回転型

ガイド方式

クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型

精度特性

高精度型 長ストローク型 高剛性型

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

オリムベクスタ株式会社は、オリエンタルモーターを中心としたさまざまな製品から、最適なFAシステム構築をご提案します。
オリムベクスタは、オリエンタルモーター株式会社の100%出資会社として1984年に設立しました...

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  • 本社所在地: 東京都
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