全てのカテゴリ
閲覧履歴
シリーズ
蒸着成膜装置 多元蒸着成膜装置取扱企業
株式会社日本シード研究所カテゴリ
もっと見る
半導体製造装置の製品182点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気性能 到達圧力 | 排気性能 排気時間 | 真空槽 | 真空槽 基板/電極間距離 | 排気系 主排気ポンプ | 排気系 補助ポンプ | 排気系 各種バルブ | 真空計 低真空 | 真空計 高真空 | 基板・電極 基板サイズ | 基板・電極 電子銃 | 基板・電極 電子銃電源 | 基板・電極 蒸発電極 | 基板・電極 蒸発電源 | 基板・電極 膜厚分析 | 槽内アクセス アクセスドア | 機能 成膜ステージ | 機能 シャッター | 機能 膜厚制御 | 制御系 主操作 | オプション 水冷機構 | ユーティリティ 電力・接地 | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ ペントガス | ユーティリティ 圧縮空気 | ユーティリティ 設置面積 | ユーティリティ 重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
多元蒸着成膜装置 |
要見積もり |
≦2.0×10^ー5Pa |
≦2.0×10^ー4Pa |
SUS製チャンバ/ (W×D×H) =950mm×700mm×650mm |
400mm (固定) |
クライオポンプ |
ドライ真空ポンプ |
PLC操作 (自動および手動) |
ピラニ真空計 |
電離真空計 |
MAX3インチ (付属専用ホルダ) |
4点ハース切替式 |
10kW |
2点切替式 |
SCRコントローラ/トランス |
±5% |
Oリングシール |
水冷 |
自動 |
水晶振動子式膜厚計 |
制御盤PLC操作 |
冷却水循環装置 |
主電源系 |
供給圧:0.2~0.3MPa |
窒素ガス |
0.5~0.8MPa |
(W×D×H) =2,600mm×2,000mm×2,400mm |
1,700kg |
半導体製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260