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原子層堆積装置 ALDER-1000-ALDER-1000
原子層堆積装置 ALDER-1000-株式会社オプトラン

原子層堆積装置 ALDER-1000
株式会社オプトラン



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この製品について

ALDER-1000は従来の成膜手法では成しえなかった光学特性を実現します。立体形状への成膜が可能で、カメラレンズへのAR膜はゴースト・フレアの消えた鮮明な映像を作り出します。

■特長

・可視光領域で0,1%を下回る極低反射率コーティング ・急峻な立体構造表面へのコンフォーマル成膜 ・大曲率レンズ両面への広入射角ARコーティング ・低温プラズマによるプラスチックレンズへの成膜 ・φ350ウェハ×40枚の同時成膜による高生産性 ・ゴースト・フレアが消えたリアルかつ鮮明な画像を実現

  • シリーズ

    原子層堆積装置 ALDER-1000

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原子層堆積装置 ALDER-1000 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 真空チャンバ 成膜ボックス 回転式基板ラック プラズマ源 前駆体供給源 排気システム 到達圧力 排気時間 成膜温度
原子層堆積装置 ALDER-1000-品番-ALDER-1000

ALDER-1000

要見積もり

W900mm × D900mm ×H1,150mm

W374mm × D700mm ×H800mm

φ350ホルダ × 40段、30rpm

ICP (誘導結合プラズマ)

前駆体容器、ALDバルブ、前駆体 (TMA、3DMAS、TiCI4ほか)

ドライポンプ

真空チャンバ:7Pa未満

真空チャンバ:30分 (大気から10Paまで)

最大130℃

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ALD装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#コンフォーマルコート #パッシベーション層 #バリア層 #凹凸覆膜 #色度制御 #絶縁層 #低温処理 #硫化抑制

処理基板 ¢mm

50 - 150 150 - 250 250 - 350 350 - 700 700 - 1,400

スパッタ方向

アップ ダウン

スパッタ電源

0 - 1 1 - 5 5 - 20

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社オプトランは1999年に設立された、真空成膜装置などの製造・輸出入をしている会社です。 複雑な集積回路である大規模集積回路の製造プロセスで、配線膜・絶縁膜を形成する機械である成膜装置、イオン化をするための装置で...

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  • 本社所在地: 東京都

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