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原子層堆積装置 ALDER-1000取扱企業
株式会社オプトランカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 真空チャンバ | 成膜ボックス | 回転式基板ラック | プラズマ源 | 前駆体供給源 | 排気システム | 到達圧力 | 排気時間 | 成膜温度 |
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ALDER-1000 |
要見積もり |
W900mm × D900mm ×H1,150mm |
W374mm × D700mm ×H800mm |
φ350ホルダ × 40段、30rpm |
ICP (誘導結合プラズマ) |
前駆体容器、ALDバルブ、前駆体 (TMA、3DMAS、TiCI4ほか) |
ドライポンプ |
真空チャンバ:7Pa未満 |
真空チャンバ:30分 (大気から10Paまで) |
最大130℃ |
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