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原子層堆積装置 ALDER-800T-ALDER-800T
原子層堆積装置 ALDER-800T-株式会社オプトラン

原子層堆積装置 ALDER-800T
株式会社オプトラン



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この製品について

ALDER-800T (A800T) は大容量ロードロック機構を有し、高いスループット、高い均一性、優れた再現性を実現するサーマルモードALD装置です。

■特長

・LED用途などハイスループットALDに対応した設計 ・再現性良く、高い均一性の成膜プロセスを実現 ・6秒以下の高速ALDサイクル ・ロングメンテナンスサイクル

  • シリーズ

    原子層堆積装置 ALDER-800T

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原子層堆積装置 ALDER-800T 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
原子層堆積装置 ALDER-800T-品番-ALDER-800T

ALDER-800T

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使用用途

#コンフォーマルコート #パッシベーション層 #バリア層 #凹凸覆膜 #色度制御 #絶縁層 #低温処理 #硫化抑制

機能

単層ALD 複層ALD 高速ALD

温度管理

高温ALD 低温ALD

処理基板 ¢mm

50 - 150 150 - 250 250 - 350 350 - 700 700 - 1,400

スパッタ方向

アップ ダウン

スパッタ電源

0 - 1 1 - 5 5 - 20

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社オプトランは1999年に設立された、真空成膜装置などの製造・輸出入をしている会社です。 複雑な集積回路である大規模集積回路の製造プロセスで、配線膜・絶縁膜を形成する機械である成膜装置、イオン化をするための装置で...

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  • 本社所在地: 東京都
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