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原子層堆積装置 ALDER-800P-ALDER-800P
原子層堆積装置 ALDER-800P-株式会社オプトラン

原子層堆積装置 ALDER-800P
株式会社オプトラン

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この製品について

ALDER-800Pはプラスチック基板への光学多層成膜を可能としたプラズマALD装置です。

■特長

・レンズ全周や3D構造物へのコンフォーマル成膜 ・Al2O3、TiO2、SiO2への成膜が可能 ・ワークトレイΦ100×75枚による大量成膜 ・プラズマ・プロセスにより低温成膜が可能 ・原料供給・プラズマ照射の最適化により成膜時間を短縮

  • シリーズ

    原子層堆積装置 ALDER-800P

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原子層堆積装置 ALDER-800P 品番1件

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原子層堆積装置 ALDER-800P-品番-ALDER-800P

ALDER-800P

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使用用途

#コンフォーマルコート #パッシベーション層 #バリア層 #凹凸覆膜 #色度制御 #絶縁層 #低温処理 #硫化抑制

処理基板 ¢mm

50 - 150 150 - 250 250 - 350 350 - 700 700 - 1,400

スパッタ方向

アップ ダウン

スパッタ電源

0 - 1 1 - 5 5 - 20

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社オプトラン

会社概要

株式会社オプトランは1999年に設立された、真空成膜装置などの製造・輸出入をしている会社です。 複雑な集積回路である大規模集積回路の製造プロセスで、配線膜・絶縁膜を形成する機械である成膜装置、イオン化をするための装置で...

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