全てのカテゴリ

閲覧履歴

  1. Metoree
  2. プラズマエッチング装置
  3. RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE (オックスフォード・インストゥルメンツ)
RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE-PlasmaPro 800 RIE
RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

24.8時間

企業レビュー

5.0

返信の比較的早い企業

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要

PlasmaPro 800 RIE は、リアクティブイオンエッチング (RIE) プロセスの柔軟なソリューションを、大きなウェハバッチや300mmウェハにおいて、コンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現します。 大型ウェハテーブルにより、製造レベルのバッチ処理および300mmウェハの取り扱いが可能になります。 化合物半導体、オプトエレクトロニクス、フォトニクスのアプリケーションにおいて、最大限のプロセス柔軟性を提供します。

■特徴

・高性能プロセス ・優れた基板温度制御 ・高精度のプロセス制御 ・実績のある、300mmシングルウェハの故障解析プロセス ・大型電極：低い所有コスト ・エッチング エンドポイント検出：信頼性・サービス性 ・レーザー干渉法および／または発光分光法によるエンドポイント検出：エッチング制御を強化するために装着することも可能 ・4-, 8- or 12-ライン ガスポッド オプション：プロセスやプロセスガスの柔軟性があり、通常のプロセスツールから離れたサービスエリアに設置することが可能 ・クローズカップル ターボポンプ：高いポンピングスピードと優れたベース圧 ・データロガー：チャンバーやプロセス条件のトレーサビリティや履歴の取得 ・液冷式または電熱式電極：優れた電極温度制御と安定性

  • シリーズ

    RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2025年3月25日にレビュー済み

顧客対応への満足度

初回対応までの時間への満足度

22.17時間

この製品を共有する


250人以上が見ています

返答率: 100.0%

返答時間: 24.8時間

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

プラズマエッチング装置注目ランキング

もっと見る

プラズマエッチング装置の製品32点中、注目ランキング上位6点

1 プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置-神港精機株式会社

プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

神港精機株式会社

500人以上が見ています

最新の閲覧: 20時間前

2 高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

5.0 企業レビュー

450人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

3 プラズマ エッチング装置 EXAM-神港精機株式会社

プラズマ エッチング装置 EXAM

神港精機株式会社

450人以上が見ています

最新の閲覧: 20時間前

4 高密度 プラズマ装置 SWP-神港精機株式会社

高密度 プラズマ装置 SWP

神港精機株式会社

420人以上が見ています

最新の閲覧: 20時間前

5 2周波独立印加方式 ドライエッチング装置-ジャパンクリエイト株式会社

2周波独立印加方式 ドライエッチング装置

ジャパンクリエイト株式会社

5.0 企業レビュー

400人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

6 真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-株式会社魁半導体

真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM

株式会社魁半導体

350人以上が見ています

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE-品番-PlasmaPro 800 RIE

PlasmaPro 800 RIE

要見積もり

フィルターから探す

プラズマエッチング装置をフィルターから探すことができます

電源 V

単相200V 30A AC100V 30A AC100V 15A 単相100V 15A 単相100V 30A 200V 単相 20A

ガス系統 系統

1系統 2系統 3系統

ステージ寸法 mm

200mm 100mm 1000mm

処理圧力調整

バルブ 手動調整 APC制御

真空計

ピラニ真空計 ターボ分子ポンプ ロータリーポンプ WRG

この商品を見た方はこちらもチェックしています

高密度 プラズマ装置 SWP-神港精機株式会社

高密度 プラズマ装置 SWP

神港精機株式会社

420人以上が見ています

最新の閲覧: 20時間前

プラズマエッチング装置
2周波独立印加方式 ドライエッチング装置-ジャパンクリエイト株式会社

2周波独立印加方式 ドライエッチング装置

ジャパンクリエイト株式会社

5.0 企業レビュー

400人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

返答時間: 185.30時間

プラズマエッチング装置
低ダメージで平滑な表面が実現 PlasmaPro 100 ALE 原子層エッチングシステム-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

低ダメージで平滑な表面が実現 PlasmaPro 100 ALE 原子層エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

5.0 企業レビュー

290人以上が見ています

返答時間: 24.82時間

プラズマエッチング装置
広範なプロセスに対応した等方性・異方性ドライエッチング PlasmaPro 100 RIE-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

広範なプロセスに対応した等方性・異方性ドライエッチング PlasmaPro 100 RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

5.0 企業レビュー

280人以上が見ています

返答時間: 24.82時間

プラズマエッチング装置
便利なオープンローディングで多目的なICPエッチングソリューションを提供 PlasmaPro 80 ICP RIE-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

便利なオープンローディングで多目的なICPエッチングソリューションを提供 PlasmaPro 80 ICP RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

5.0 企業レビュー

280人以上が見ています

返答時間: 24.82時間

プラズマエッチング装置
コンパクトな多様なエッチングとデポジションのソリューション PlasmaPro 80 PECVD-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

コンパクトな多様なエッチングとデポジションのソリューション PlasmaPro 80 PECVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

5.0 企業レビュー

310人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

返答時間: 24.82時間

プラズマエッチング装置
多様なエッチングとデポジションのソリューションを、使い易い大気装入方式で実現 PlasmaPro 80 RIE-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

多様なエッチングとデポジションのソリューションを、使い易い大気装入方式で実現 PlasmaPro 80 RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

5.0 企業レビュー

290人以上が見ています

返答時間: 24.82時間

プラズマエッチング装置
薄膜・表面改質技術＆装置 イオンエッチング装置 IEシリーズ-新明和工業株式会社

薄膜・表面改質技術＆装置 イオンエッチング装置 IEシリーズ

新明和工業株式会社

130人以上が見ています

最新の閲覧: 22時間前

返答時間: 160.01時間

プラズマエッチング装置
研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX-アルバック販売株式会社

研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX

アルバック販売株式会社

220人以上が見ています

最新の閲覧: 13時間前

返答時間: 125.77時間

プラズマエッチング装置
レーザエッチングシステム CTET-LD-株式会社LDF

レーザエッチングシステム CTET-LD

株式会社LDF

150人以上が見ています

プラズマエッチング装置
nanoETCH ソフトエッチング装置 Model. ETCH5A-テルモセラ・ジャパン株式会社

nanoETCH ソフトエッチング装置 Model. ETCH5A

テルモセラ・ジャパン株式会社

70人以上が見ています

プラズマエッチング装置
FA 半導体関連システム ドライエッチャー APX300-パナソニックインダストリー株式会社

FA 半導体関連システム ドライエッチャー APX300

パナソニックインダストリー株式会社

40人以上が見ています

プラズマエッチング装置
プラズマエッチング装置をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

返答率

100.0%

返答時間

24.8時間

企業レビュー

5.0

会社概要

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社は科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売・修理・買取を行っている企業です。 1991年にイギリスのオックスフォード・インストゥルメンツの日本法人として設立されま...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都

関連キーワード

プラズマエッチング装置
プラズマエッチング装置　オックスフォード・インストゥルメンツ
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

最近見た製品

Copyright © 2025 Metoree