全てのカテゴリ

閲覧履歴

RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE-PlasmaPro 800 RIE
RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社の対応状況

返答率

100.0%

平均返答時間

24.4時間

返信の比較的早い企業


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要

PlasmaPro 800 RIE は、リアクティブイオンエッチング (RIE) プロセスの柔軟なソリューションを、大きなウェハバッチや300mmウェハにおいて、コンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現します。 大型ウェハテーブルにより、製造レベルのバッチ処理および300mmウェハの取り扱いが可能になります。 化合物半導体、オプトエレクトロニクス、フォトニクスのアプリケーションにおいて、最大限のプロセス柔軟性を提供します。

■特徴

・高性能プロセス ・優れた基板温度制御 ・高精度のプロセス制御 ・実績のある、300mmシングルウェハの故障解析プロセス ・大型電極:低い所有コスト ・エッチング エンドポイント検出:信頼性・サービス性 ・レーザー干渉法および/または発光分光法によるエンドポイント検出:エッチング制御を強化するために装着することも可能 ・4-, 8- or 12-ライン ガスポッド オプション:プロセスやプロセスガスの柔軟性があり、通常のプロセスツールから離れたサービスエリアに設置することが可能 ・クローズカップル ターボポンプ:高いポンピングスピードと優れたベース圧 ・データロガー:チャンバーやプロセス条件のトレーサビリティや履歴の取得 ・液冷式または電熱式電極:優れた電極温度制御と安定性

  • シリーズ

    RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE

この製品を共有する


140人以上が見ています


返答率: 100.0%


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE-品番-PlasmaPro 800 RIE

PlasmaPro 800 RIE

要見積もり

この商品を見た方はこちらもチェックしています

プラズマエッチング装置をもっと見る

オックスフォード・インストゥルメンツの取り扱い製品

オックスフォード・インストゥルメンツの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


平均返答時間

24.4時間

会社概要

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社は科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売・修理・買取を行っている企業です。 1991年にイギリスのオックスフォード・インストゥルメンツの日本法人として設立されま...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
Copyright © 2024 Metoree