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プラズマCVD装置の製品41点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 膜種 | 炉体サイズ | 炉体材質 | 基板形状 | 到達圧力 | 排気速度 | 加熱温度 | 圧力コントロール | ガス種 | 電源 | 真空排気系 | 真空計 | ユーティリティ 電気 | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ 計装エアー |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
CP-1700 |
要見積もり |
a-Si/Si3N4 |
φ90mm×500mm |
石英 |
3インチ 1枚 |
×10-2Pa台※常温・無負荷・脱ガス時 |
×10-1Pa台迄3分以内※常温・無負荷・脱ガス時 |
500℃ |
自動 |
SiH4/NH3/H2/N2 |
RF電源 13.56MHz 500W 自動マッチング 1台 |
油回転ポンプ：167L/min |
ピラニ真空計/バラトロン真空計 |
AC200V三相10kVA |
15L/min以上0.1MPa以上0.15MPa以下25℃以下循環 |
0.5MPa以上 |
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