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DRIEアプリケーション用プラットフォーム PlasmaPro 100 Estrelas DRIEカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | エッチング速度 (μm/min) | フォトレジスト選択性 | プロファイル | アスペクト比 | 側壁 | ARDE (アスペクト比依存エッチング) 制御 | クリーニング | 最小 エッチング速度 /nm |
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PlasmaPro 100 Estrelas DRIE |
要見積もり |
Bosch：高速 |
Bosch：非常に高い |
Bosch：垂直 |
Bosch：非常に高い |
Bosch：粗い |
Bosch：対応 |
Bosch：通常 |
Bosch：≈ 300 |
