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高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステムカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウェハサイズ | ICPプラズマ源 | 温度範囲 | クラスター化 |
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PlasmaPro 100 Cobra ICP |
要見積もり |
最大200mm |
65mmまたは300mm |
-150~400℃ |
ALD、PECVD、イオンビームエッチング、イオンビームデポジションなどの技術を含む最大5つのモジュール |
