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手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ-MTPA-2601SPA
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手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ-有限会社メカノトランスフォーマ

手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ
有限会社メカノトランスフォーマ

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この製品について

■ピエゾアシストステージとは

・60x60mm テーブルサイズです。 ・20ナノメートルという最小分解能でかつ粗動 (ミリメートルオーダー) を備えた微動粗動手動ステージです。 ・主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途 (ナノインデンテーション) でも容易に実現できる手動精密ステージです。 ・大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単。低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。 (*1ナノメートル=10億分の1メートル) ・ピエゾアシストステージとコントローラに繋がる専用のケーブルが付属しています。 ・「ピエゾアシスト」、「Piezo Assist」および「PiezoAssist」は有限会社メカノトランスフォーマの登録商標です。 動作原理

■装置の構成

ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。 ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり10μmの分解能で位置決めができます。 ピエゾアシストは稼動範囲が約35μmで20nmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。

■粗動機構による精密位置決め

粗動機構による精密位置決めはマイクロメータのノブを回転させ、メータ記載の目盛りにより位置調整をします。

■微動機構による精密位置決め

微動機構による精密位置決めはコントロールボックスのノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。ピエゾアクチュエータは、コントローラボックスから供給する電圧によりアクチュエータの出力部の変位を制御することができます。その結果、ステージのテーブルの位置をナノメートルレベルで制御することを実現します。

  • シリーズ

    手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ

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手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) テーブル面サイズ 粗動移動量 微動移動量 マイクロ操作位置 移動量/1回転 マイクロメータ最小読取 微動最小分解能 移動ガイド 主要材質 表面処理 移動精度/真直度 移動平行度 質量
手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ-品番-MTPA-2601SPA

MTPA-2601SPA

要見積もり

60×60mm

±6.5mm

>30µm

サイド Side

0.5mm

0.01mm

<20nm

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

49N (5.0kgf)

3μm

4.9N・m

4.9N・m

4.9N・m

0.3″/N・cm

0.25″/N・cm

30μm

10μm

0.25kg

手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ-品番-MTPA-2601SRPA

MTPA-2601SRPA

要見積もり

60×60mm

±6.5mm

>30µm

サイド Side

0.5mm

0.01mm

<20nm

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

49N (5.0kgf)

3μm

4.9N・m

4.9N・m

4.9N・m

0.3″/N・cm

0.25″/N・cm

30μm

10μm

0.25kg

手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ-品番-MTPA-2601SRZPA

MTPA-2601SRZPA

要見積もり

60×60mm

±6.5mm

>30µm

サイド Side

0.5mm

0.01mm

<20nm

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

9.8N (1.0kgf)

3μm

2.5N・m

2.5N・m

-

0.66″/N・cm

- -

10μm

0.25kg

手動精密位置決めステージ ピエゾアシストステージ MTPA-2601シリーズ-品番-MTPA-2601SZPA

MTPA-2601SZPA

要見積もり

60×60mm

±6.5mm

>30µm

サイド Side

0.5mm

0.01mm

<20nm

ボールガイド

アルミ

黒アルマイト

9.8N (1.0kgf)

3μm

2.5N・m

2.5N・m

-

0.66″/N・cm

- -

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0.25kg

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この商品の取り扱い会社情報

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45.2時間

会社概要

有限会社メカノトランスフォーマは、圧電アクチュエータ素子の発生する変位を機械的に拡大・縮小する独自技術「メカニカルトランスフォーマ」関連の製品について設計・製造を行っている企業です。

2002年、有限会...

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  • 本社所在地: 東京都
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