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超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ-U-723.25
超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴

・2軸で高速位置決め ・省スペースかつ軽量 ・高い案内精度 ・10nmの高いセンサー分解能 ・セルフロック、静止時発熱なし ・低騒音運転

■精密級XYステージ

PILine®ステージは、高速で高精度の位置決めが必要なアプリケーションに特に適しています。スイッチをオフにすると、セルフロックドライブがステージの位置を機械的に安定に保持します。したがって、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。 バッテリー駆動または熱に敏感な、デューティサイクルが低いアプリケーションでは、これらの特性が役立ちます。軸の位置はエンコーダによって測定され、光学式基準スイッチによって信頼性の高い反復可能な動作が可能になります。ピエゾモーターの駆動原理とその電気的動作は安価であり、カスタマイズ可能です。

■PILine®超音波ピエゾモーター

・PILine®超音波ピエゾモーターの不可欠な部分は、結合要素を介して可動のガイド付きランナーに対してプリロードされるピエゾアクチュエーターです。 ・圧電セラミックアクチュエータは、100~200kHzの高周波AC電圧によって励起されて超音波振動します。 ・アクチュエータの変形により、ランナーに対する結合要素の周期的な斜め運動が生じます。 ・作成されるフィードは1サイクルあたり数ナノメートルです。 ・高周波は高速度をもたらします。 ・ピエゾセラミックアクチュエータをランナーに対してプリロードすることで、停止時およびスイッチオフ時のドライブのセルフロックが保証されます。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

・非接触光学式エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。 ・非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響しません。

■応用分野

マイクロマニピュレーション、自動化、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルの位置決め、限られたスペースでのアプリケーション、10 -6hPaまでの真空アプリケーション (オプション)

  • シリーズ

    超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ

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超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲 Y方向の移動範囲 X方向の最大速度 Y方向の最大速度 ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) 統合センサー Xにおける双方向の再現性 Y方向の双方向再現性 X方向の最小増分動作 Y方向の最小増分動作 センサー解像度 基準スイッチ ドライブタイプ X方向の駆動力 Xのアントリーブスククラフト ガイド Xの保持力、パッシブ Y方向の保持力、パッシブ Z方向の許容押付け力 全体の質量 ケーブルを除いた質量 材料 使用温度範囲 コネクタ ケーブルの長さ 推奨コントローラー/ドライバー
超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ-品番-U-723.25

U-723.25

要見積もり

XY

22mm

22mm

200mm/秒

200mm/秒

±750μrad

±750μrad

±150μrad

±150μrad

インクリメンタルリニアエンコーダ

±0.2μm

±0.2μm

0.1μm

0.1μm

10nm

光学

PILine®ピエゾモーター、パフォーマンスクラス1

2N

2N

クロスローラーガイド

2N

2N

5N

350g

110g

アルミニウム、陽極酸化処理

0~40℃

D-sub15ピン×2 (オス)

1.5メートル

C-867.2U2、C-867.10C885

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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