超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ-U-723.25

超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ
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この製品について

■特徴・2軸で高速位置決め
・省スペースかつ軽量
・高い案内精度
・10nmの高いセンサー分解能
・セルフロック、静止時発熱なし
・低騒音運転

■精密級XYステージPILine®ステージは、高速で高精度の位置決めが必要なアプリケーションに特に適しています。スイッチをオフにすると、セルフロックドライブがステージの位置を機械的に安定に保持します。したがって、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。

バッテリー駆動または熱に敏感な、デューティサイクルが低いアプリケーションでは、これらの特性が役立ちます。軸の位置はエンコーダによって測定され、光学式基準スイッチによって信頼性の高い反復可能な動作が可能になります。ピエゾモーターの駆動原理とその電気的動作は安価であり、カスタマイズ可能です。

■PILine®超音波ピエゾモーター・PILine®超音波ピエゾモーターの不可欠な部分は、結合要素を介して可動のガイド付きランナーに対してプリロードされるピエゾアクチュエーターです。
・圧電セラミックアクチュエータは、100～200kHzの高周波AC電圧によって励起されて超音波振動します。
・アクチュエータの変形により、ランナーに対する結合要素の周期的な斜め運動が生じます。
・作成されるフィードは1サイクルあたり数ナノメートルです。
・高周波は高速度をもたらします。
・ピエゾセラミックアクチュエータをランナーに対してプリロードすることで、停止時およびスイッチオフ時のドライブのセルフロックが保証されます。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定・非接触光学式エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。
・非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響しません。

■応用分野マイクロマニピュレーション、自動化、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルの位置決め、限られたスペースでのアプリケーション、10 -6hPaまでの真空アプリケーション (オプション) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

ステージ

2軸ステージ

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超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X方向の移動範囲	Y方向の移動範囲	X方向の最大速度	Y方向の最大速度	ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)	ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)	ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)	ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)	統合センサー	Xにおける双方向の再現性	Y方向の双方向再現性	X方向の最小増分動作	Y方向の最小増分動作	センサー解像度	基準スイッチ	ドライブタイプ	X方向の駆動力	Xのアントリーブスククラフト	ガイド	Xの保持力、パッシブ	Y方向の保持力、パッシブ	Z方向の許容押付け力	全体の質量	ケーブルを除いた質量	材料	使用温度範囲	コネクタ	ケーブルの長さ	推奨コントローラー/ドライバー
	U-723.25	要見積もり	XY	22mm	22mm	200mm/秒	200mm/秒	±750μrad	±750μrad	±150μrad	±150μrad	インクリメンタルリニアエンコーダ	±0.2μm	±0.2μm	0.1μm	0.1μm	10nm	光学	PILine®ピエゾモーター、パフォーマンスクラス1	2N	2N	クロスローラーガイド	2N	2N	5N	350g	110g	アルミニウム、陽極酸化処理	0~40℃	D-sub15ピン×2 (オス)	1.5メートル	C-867.2U2、C-867.10C885