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6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-562.6CD PIMars 6軸ナノポジショニングステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 駆動軸 | 内蔵センサー | 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時) | クローズドループストローク チップ/チルト角 θX,θYθZ | クローズドループ分解能 (X,Y,Z) | クローズドループ分解能θX,θYθZ | リニアリティエラー (X、Y、Z) | リニアリティエラー (θX,θY, θZ) | 再現性X、Y、Z | 再現性 θX、θY、θZ | 平坦度 | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 負荷容量 | セラミックタイプ | 電気容量 (X,Y,Z) | 動作温度範囲 | 材料 | 質量 | ケーブル長さ | センサー/ボルト接続 | 推奨コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-562.6CD |
要見積もり |
X、Y、Z、θX、θY、θZ |
静電容量 |
200 µm |
±0.5 mrad |
1 nm |
0.1 µrad |
0.01 % |
0.1 % |
±2 / ±2 / ±3 nm |
±0.1 / ±0.1 / ±0.15 µrad |
<15 nm |
110 / 110 / 190 Hz |
5 kg |
PICMA |
7.4 / 7.4 / 14.8 µF |
-20~80 ℃ |
アルミニウム |
1.45 kg |
1.5 m |
2 x D-sub25W3 (m) |
E-712 |
