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6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-562.6CD PIMars 6軸ナノポジショニングステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 駆動軸 | 内蔵センサー | 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時) | クローズドループストローク チップ/チルト角 θX,θYθZ | クローズドループ分解能 (X,Y,Z) | クローズドループ分解能θX,θYθZ | リニアリティエラー (X、Y、Z) | リニアリティエラー (θX,θY, θZ) | 再現性X、Y、Z | 再現性 θX、θY、θZ | 平坦度 | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 負荷容量 | セラミックタイプ | 電気容量 (X,Y,Z) | 動作温度範囲 | 材料 | 質量 | ケーブル長さ | センサー/ボルト接続 | 推奨コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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P-562.6CD |
要見積もり | X、Y、Z、θX、θY、θZ | 静電容量 | 200 µm | ±0.5 mrad | 1 nm | 0.1 µrad | 0.01 % | 0.1 % | ±2 / ±2 / ±3 nm | ±0.1 / ±0.1 / ±0.15 µrad | <15 nm | 110 / 110 / 190 Hz | 5 kg | PICMA | 7.4 / 7.4 / 14.8 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg | 1.5 m | 2 x D-sub25W3 (m) | E-712 |
