6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-562.6CD PIMars 6軸ナノポジショニングステージ ピーアイ・ジャパン株式会社
ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
0.6時間
この製品について
■特徴
・6動作軸:3xリニア 3x回転 ・移動範囲は直線200 μm、先端/傾斜角は1 mrad ・パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御 ・静電容量センサーによる最高の直線性 ・ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム ・優れたスキャニング平坦度 ・開口部66 mmx66 mm ・PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命 ・UHV-compatible to 10-9hPa 概要■応用分野
顕微鏡のスキャニング/高分解能顕微鏡/バイオテクノロジー/マスク・ウエハー位置決め/サンプルポジショニング/干渉計/計測■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供します。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。■ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス,摩擦摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します。■平行位置測定によるナノメートル範囲の高いトラッキング精度
すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアルタイムで (帯域幅に応じて) 積極的に補正することができます (アクティブガイド) 。ダイナミック操作でも、ナノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。■高度な真空アプリケーションに適しています
ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。操作に潤滑剤やグリースは必要ありません。ポリマーフリーのピエゾシステムは、特に低いアウトガス率を可能にします。-
シリーズ
6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-562.6CD PIMars 6軸ナノポジショニングステージ
-
取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
位置決めステージ注目ランキング
位置決めステージの製品151点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
位置決めステージ注目ランキング (対応の早い企業)
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-562.6CD PIMars 6軸ナノポジショニングステージ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 駆動軸 | 内蔵センサー | 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時) | クローズドループストローク チップ/チルト角 θX,θYθZ | クローズドループ分解能 (X,Y,Z) | クローズドループ分解能θX,θYθZ | リニアリティエラー (X、Y、Z) | リニアリティエラー (θX,θY, θZ) | 再現性X、Y、Z | 再現性 θX、θY、θZ | 平坦度 | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 負荷容量 | セラミックタイプ | 電気容量 (X,Y,Z) | 動作温度範囲 | 材料 | 質量 | ケーブル長さ | センサー/ボルト接続 | 推奨コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-562.6CD |
要見積もり | X、Y、Z、θX、θY、θZ | 静電容量 | 200 µm | ±0.5 mrad | 1 nm | 0.1 µrad | 0.01 % | 0.1 % | ±2 / ±2 / ±3 nm | ±0.1 / ±0.1 / ±0.15 µrad | <15 nm | 110 / 110 / 190 Hz | 5 kg | PICMA | 7.4 / 7.4 / 14.8 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg | 1.5 m | 2 x D-sub25W3 (m) | E-712 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
この商品を見た方はこんな商品もチェックしています
位置決めステージの製品をもっと見る
ピーアイ・ジャパン株式会社のその他の取り扱い製品
ピーアイ・ジャパンの製品をもっと見る
