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大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z単位の移動範囲 (µm) | 移動範囲 (Z)、開ループ (µm) | θX単位の回転範囲 (mrad) | θY単位の回転範囲 (mrad) | θX単位の回転範囲、開ループ (mrad) | 回転範囲 (θY)、開ループ (mrad) | Zの直線性誤差 (%) | θXの直線性誤差 (%) | θYの直線性誤差 (%) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) | ピッチ (θY単位回転クロストークZ単位運動) (µrad) | ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (µrad) | 統合センサー | Z単位のシステム解像度 (nm) | θX単位のシステム分解能 (µrad) | θY単位のシステム分解能 (µrad) | Z単位の分解能、オープンループ (nm) | θX単位の分解能、開ループ (µrad) | θY単位の分解能、開ループ (µrad) | Zでの双方向再現性 (nm) | θXにおける双方向再現性 (µrad) | 双方向再現性 (θY) (µrad) | ドライブの種類 | Z単位の電気容量 (μF) | ガイド | Z単位の剛性 (N/μm) | 共振周波数 (Z)、無負荷 (Hz) | 共振周波数 (Z単位) 、2,500gの負荷下 (Hz) | 共振周波数 (Z単位)、500gの負荷下 (Hz) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-518.TCD |
要見積もり |
ZθXθY |
100 |
140 |
1 |
1 |
1.4 |
1.4 |
0.03 |
0.15 |
0.15 |
±.25 |
±25 |
±5 |
静電容量式、間接位置測定 |
0.8 |
0.05 |
0.05 |
0.4 |
0.04 |
0.04 |
±5 |
±0.05 |
0.05 |
ピクマ® |
2.1 |
レバー増幅付き曲げガイド |
2.7 |
500 |
200 |
350 |
|
|
|
P-518.ZCD |
要見積もり |
Z |
100 |
140 |
- | - | - | - |
0.03 |
- | - |
±.25 |
±25 |
±5 |
静電容量式、間接位置測定 |
0.8 |
- | - |
0.2 |
- | - |
±5 |
- | - |
ピクマ® |
8.4 |
レバー増幅付き曲げガイド |
2.7 |
500 |
200 |
350 |
|
|
|
P-518.ZCL |
要見積もり |
Z |
100 |
140 |
- | - | - | - |
0.03 |
- | - |
±.25 |
±25 |
±5 |
静電容量式、間接位置測定 |
0.8 |
- | - |
0.2 |
- | - |
±5 |
- | - |
ピクマ® |
8.4 |
レバー増幅付き曲げガイド |
2.7 |
500 |
200 |
350 |
|
|
|
P-528.TCD |
要見積もり |
ZθXθY |
200 |
240 |
2 |
2 |
2.4 |
2.4 |
0.03 |
0.15 |
0.15 |
±50 |
±50 |
±10 |
静電容量式、間接位置測定 |
1 |
0.04 |
0.04 |
0.6 |
0.06 |
0.06 |
±10 |
±0.1 |
±0.1 |
ピクマ® |
3.7 |
レバー増幅付き曲げガイド |
1.5 |
350 |
130 |
210 |
|
|
|
P-528.ZCD |
要見積もり |
Z |
200 |
240 |
- | - | - | - |
0.03 |
- | - |
±50 |
±50 |
±10 |
静電容量式、間接位置測定 |
1 |
- | - |
0.6 |
- | - |
±10 |
- | - |
ピクマ® |
14.8 |
レバー増幅付き曲げガイド |
1.5 |
350 |
130 |
210 |
|
|
|
P-528.ZCL |
要見積もり |
Z |
200 |
240 |
- | - | - | - |
0.03 |
- | - |
±50 |
±50 |
±10 |
静電容量式、間接位置測定 |
1 |
- | - |
0.6 |
- | - |
±10 |
- | - |
ピクマ® |
14.8 |
レバー増幅付き曲げガイド |
1.5 |
350 |
130 |
210 |
|
|
|
P-558.TCD |
要見積もり |
ZθXθY |
50 |
60 |
0.5 |
0.5 |
0.6 |
0.6 |
0.03 |
0.15 |
0.15 |
±25 |
±25 |
±5 |
静電容量式、間接位置測定 |
0.5 |
0.05 |
0.05 |
0.2 |
0.02 |
0.02 |
±5 |
±0.03 |
±0.03 |
ピクマ® |
1.5 |
レバー増幅付き曲げガイド |
4 |
570 |
245 |
410 |
|
|
|
P-558.ZCD |
要見積もり |
Z |
50 |
60 |
- | - | - | - |
0.03 |
- | - |
±25 |
±25 |
±5 |
静電容量式、間接位置測定 |
0.5 |
- | - |
0.2 |
- | - |
±0.03 |
- | - |
ピクマ® |
5 |
レバー増幅付き曲げガイド |
4 |
570 |
245 |
410 |
|
|
|
P-558.ZCL |
要見積もり |
Z |
50 |
60 |
- | - | - | - |
0.03 |
- | - |
±25 |
±25 |
±5 |
静電容量式、間接位置測定 |
0.5 |
- | - |
0.2 |
- | - |
±0.03 |
- | - |
ピクマ® |
6 |
レバー増幅付き曲げガイド |
4 |
570 |
245 |
410 |
