大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ-P-518.TCD

チルトステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

26.5時間

返信の比較的早い企業

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■応用分野・度量衡
・干渉計
・フォトニクス/集積光学
・リトグラフ
・ナノポジショニング
・走査型顕微鏡
・サンプルアライメント
・マイクロマシニング

■製品説明・PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
・静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
・ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度
・自動構成と高速コンポーネント交換
・並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度

■製品特徴・Zステージとチップ/チルトステージ (3軸) /Zステージ (1軸)
・Z単位の移動範囲/チップ/チルト角度は200μm/2mrad、閉ループ (240μm/2.4mradの開ループまで)
・並列キネマティクスにより、応答時間の短縮と多軸精度の向上を実現
・ゼロプレイ、高精度フレクシャガイドシステム
・PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
・クリアアパーチャ66mm×66mm
・静電容量センサーによる最高の直線性

■その他・Zでの許容プッシュ/プル力:水平に取り付けられている場合 (吊り下げられていない表面に立っている場合) 。
・電気容量:チャンネルごとに規定 (ユーザーマニュアルのピン配置を参照) 。
・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。
・すべての仕様は室温 (22℃±3℃) に基づいています。

型番
この商品には9種類の型番があります

シリーズ
大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

ステージ

位置決めステージ

ステージ

傾斜ステージ

この商品に関する問題を報告する

600人以上が見ています

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

ピエゾステージ注目ランキング

ピエゾステージの製品79点中、注目ランキング上位6点

大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

600人以上が見ています

P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸　小型ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

490人以上が見ています

P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

460人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸　小型ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

320人以上が見ています

最新の閲覧: 29分前

真空対応　P-621.1U•P-625.1U PIHera X軸ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

280人以上が見ています

最新の閲覧: 10時間前

手動精密位置決めステージピエゾアシストステージ MTPA-2401シリーズ

有限会社メカノトランスフォーマ

260人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ品番9件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸 ZθXθY Z	Z単位の移動範囲 (µm) 50 100 200	移動範囲 (Z)、開ループ (µm) 60 140 240	θX単位の回転範囲 (mrad) 0.5 1 2	θY単位の回転範囲 (mrad) 0.5 1 2	θX単位の回転範囲、開ループ (mrad) 0.6 1.4 2.4	回転範囲 (θY)、開ループ (mrad) 0.6 1.4 2.4	Zの直線性誤差 (%)	θXの直線性誤差 (%) 0.15	θYの直線性誤差 (%) 0.15	ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) ±.25 ±50 ±25	ピッチ (θY単位回転クロストークZ単位運動) (µrad) ±25 ±50	ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (µrad) ±5 ±10	統合センサー	Z単位のシステム解像度 (nm) 0.5 0.8 1	θX単位のシステム分解能 (µrad) 0.04 0.05	θY単位のシステム分解能 (µrad) 0.04 0.05	Z単位の分解能、オープンループ (nm) 0.2 0.4 0.6	θX単位の分解能、開ループ (µrad) 0.02 0.04 0.06	θY単位の分解能、開ループ (µrad) 0.02 0.04 0.06	Zでの双方向再現性 (nm) ±5 ±10 ±0.03	θXにおける双方向再現性 (µrad) ±0.05 ±0.1 ±0.03	双方向再現性 (θY) (µrad) 0.05 ±0.1 ±0.03	ドライブの種類	Z単位の電気容量 (μF) 1.5 2.1 3.7 5 6 8.4 14.8	ガイド	Z単位の剛性 (N/μm) 1.5 2.7 4	共振周波数 (Z)、無負荷 (Hz) 350 500 570	共振周波数 (Z単位) 、2,500gの負荷下 (Hz) 130 200 245	共振周波数 (Z単位)、500gの負荷下 (Hz) 210 350 410
P-518.TCD	要見積もり	ZθXθY	100	140	1	1	1.4	1.4	0.03	0.15	0.15	±.25	±25	±5	静電容量式、間接位置測定	0.8	0.05	0.05	0.4	0.04	0.04	±5	±0.05	0.05	ピクマ®	2.1	レバー増幅付き曲げガイド	2.7	500	200	350
P-518.ZCD	要見積もり	Z	100	140	-	-	-	-	0.03	-	-	±.25	±25	±5	静電容量式、間接位置測定	0.8	-	-	0.2	-	-	±5	-	-	ピクマ®	8.4	レバー増幅付き曲げガイド	2.7	500	200	350
P-518.ZCL	要見積もり	Z	100	140	-	-	-	-	0.03	-	-	±.25	±25	±5	静電容量式、間接位置測定	0.8	-	-	0.2	-	-	±5	-	-	ピクマ®	8.4	レバー増幅付き曲げガイド	2.7	500	200	350
P-528.TCD	要見積もり	ZθXθY	200	240	2	2	2.4	2.4	0.03	0.15	0.15	±50	±50	±10	静電容量式、間接位置測定	1	0.04	0.04	0.6	0.06	0.06	±10	±0.1	±0.1	ピクマ®	3.7	レバー増幅付き曲げガイド	1.5	350	130	210
P-528.ZCD	要見積もり	Z	200	240	-	-	-	-	0.03	-	-	±50	±50	±10	静電容量式、間接位置測定	1	-	-	0.6	-	-	±10	-	-	ピクマ®	14.8	レバー増幅付き曲げガイド	1.5	350	130	210
P-528.ZCL	要見積もり	Z	200	240	-	-	-	-	0.03	-	-	±50	±50	±10	静電容量式、間接位置測定	1	-	-	0.6	-	-	±10	-	-	ピクマ®	14.8	レバー増幅付き曲げガイド	1.5	350	130	210
P-558.TCD	要見積もり	ZθXθY	50	60	0.5	0.5	0.6	0.6	0.03	0.15	0.15	±25	±25	±5	静電容量式、間接位置測定	0.5	0.05	0.05	0.2	0.02	0.02	±5	±0.03	±0.03	ピクマ®	1.5	レバー増幅付き曲げガイド	4	570	245	410
P-558.ZCD	要見積もり	Z	50	60	-	-	-	-	0.03	-	-	±25	±25	±5	静電容量式、間接位置測定	0.5	-	-	0.2	-	-	±0.03	-	-	ピクマ®	5	レバー増幅付き曲げガイド	4	570	245	410
P-558.ZCL	要見積もり	Z	50	60	-	-	-	-	0.03	-	-	±25	±25	±5	静電容量式、間接位置測定	0.5	-	-	0.2	-	-	±0.03	-	-	ピクマ®	6	レバー増幅付き曲げガイド	4	570	245	410