大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

P-518.ZCD | 大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社


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Zでの双方向再現性 (nm)

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Z単位のシステム解像度 (nm)

Z単位の分解能、オープンループ (nm)

Z単位の剛性 (N/μm)

Z単位の移動範囲 (µm)

Z単位の電気容量 (μF)

θXにおける双方向再現性 (µrad)

θXの直線性誤差 (%)

θX単位のシステム分解能 (µrad)

θX単位の分解能、開ループ (µrad)

θX単位の回転範囲 (mrad)

θX単位の回転範囲、開ループ (mrad)

θYの直線性誤差 (%)

θY単位のシステム分解能 (µrad)

θY単位の分解能、開ループ (µrad)

θY単位の回転範囲 (mrad)

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ピッチ (θY単位回転クロストークZ単位運動) (µrad)

ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad)

ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (µrad)

共振周波数 (Z)、無負荷 (Hz)

共振周波数 (Z単位) 、2,500gの負荷下 (Hz)

共振周波数 (Z単位)、500gの負荷下 (Hz)

双方向再現性 (θY) (µrad)

回転範囲 (θY)、開ループ (mrad)

移動範囲 (Z)、開ループ (µm)

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    P-518.ZCD




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大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ P-518.ZCDの性能表

商品画像 価格 (税抜) Zでの双方向再現性 (nm) Zの直線性誤差 (%) Z単位のシステム解像度 (nm) Z単位の分解能、オープンループ (nm) Z単位の剛性 (N/μm) Z単位の移動範囲 (µm) Z単位の電気容量 (μF) アクティブ軸 ガイド ドライブの種類 ピッチ (θY単位回転クロストークZ単位運動) (µrad) ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (µrad) 共振周波数 (Z)、無負荷 (Hz) 共振周波数 (Z単位) 、2,500gの負荷下 (Hz) 共振周波数 (Z単位)、500gの負荷下 (Hz) 移動範囲 (Z)、開ループ (µm) 統合センサー
大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ-品番-P-518.ZCD 要見積もり ±5 0.03 0.8 0.2 2.7 100 8.4 Z レバー増幅付き曲げガイド ピクマ® ±25 ±.25 ±5 500 200 350 140 静電容量式、間接位置測定

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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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