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UniSlide (ユニスライド) 精密位置決めステージ XY Stages【XYステージシリーズ】-XY Stages【XYステージシリーズ】
UniSlide (ユニスライド) 精密位置決めステージ XY Stages【XYステージシリーズ】-エヌピイエス株式会社

UniSlide (ユニスライド) 精密位置決めステージ XY Stages【XYステージシリーズ】
エヌピイエス株式会社



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この製品について

微動位置決め・検査用テーブルとして使用できる精密スライダー (XYテーブル) です。組み合わせによりXYZ、電導、手動、豊富な種類を用意しております。ブレ、ガタ等が無く高剛性につくられています。

■XYStages【XYステージシリーズ】

お客様のインデックス、スキャン、固定、位置決め、ゲージング要件に対応する組立済みXYテーブル。

  • シリーズ

    UniSlide (ユニスライド) 精密位置決めステージ XY Stages【XYステージシリーズ】

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UniSlide (ユニスライド) 精密位置決めステージ XY Stages【XYステージシリーズ】 品番1件

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UniSlide (ユニスライド) 精密位置決めステージ XY Stages【XYステージシリーズ】-品番-XY Stages【XYステージシリーズ】

XY Stages【XYステージシリーズ】

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使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

駆動方式

手動型 電動型 空圧型

軸構成

単軸型 二軸型 三軸型 回転型

ガイド方式

クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型

精度特性

高精度型 長ストローク型 高剛性型

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

エヌピイエス株式会社は、半導体や電子工業分野で必要な検査測定機器や製造装置等の輸出入と、製造販売を行う企業です。
 半導体製造・検査装置の総合展示会である「SEMICON JAPAN」(セミコンジャパン)に、19...

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  • 本社所在地: 東京都
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