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バッチ式プラズマクリーナー PT-655S取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理方式 | 処理室 | ステージ段数 | チャンバー寸法 | ステージ寸法 | RF電源 | 処理ガス | パージガス | 処理ステップ | 真空ポンプ | 本体寸法 | 本体重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PT-655S |
要見積もり |
平行平板プラズマ励起方式 (DP/RIE切替可) |
アルミニウム (A5052) 製 |
標準3ステージ (オプション 増設1ステージ対応可) |
幅500×奥580×高500mm |
幅340×奥420mm |
600W |
O2、Ar (オプション 1ライン増設可) |
N2 (スローライン有) |
10レシピ (3ステップ) |
ロータリーポンプ 1,300L/min |
幅880×奥880×高1,600mm |
約400kg |
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