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バッチ式プラズマクリーナー PT-655S-PT-655S
バッチ式プラズマクリーナー PT-655S-株式会社エスクラフト

バッチ式プラズマクリーナー PT-655S
株式会社エスクラフト



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この製品について

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP (ダイレクトプラズマ) モードとRIE (リアクティブイオンエッチング) モードの2つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。

■応用例

・プラスチックパッケージ、ハイブリッドICなどの表面改質 ・フォトレジストアッシング ・繊維や高分子材料などの表面改質

■容易なプラズマモード切替

RIE (Reactive Ion Etching) ⇔DP (Direct Plasma) がコントロールパネル上の操作のみで切り替え可能です。

■高速追従性

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。

■省フットプリント

クリーンルーム占有面積880 (W) ×880 (D) 。本体以外はPUMPのみの省スペース化を実現。

■将来的な収束問題の解消

制御系にはシーケンサを使用しており、PCのモデルチェンジ等にありがちな収束問題も解消出来ます。

■多種多様なカスタマイズ性

基本的なプラットフォームを利用して御客様の様々な要求に応じた対応を致します。

■試料棚

処理室内に試料棚を複数段装備しております。最大4段使用可能。

  • シリーズ

    バッチ式プラズマクリーナー PT-655S

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バッチ式プラズマクリーナー PT-655S 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 処理方式 処理室 ステージ段数 チャンバー寸法 ステージ寸法 RF電源 処理ガス パージガス 処理ステップ 真空ポンプ 本体寸法 本体重量
バッチ式プラズマクリーナー PT-655S-品番-PT-655S

PT-655S

要見積もり

平行平板プラズマ励起方式 (DP/RIE切替可)

アルミニウム (A5052) 製

標準3ステージ (オプション 増設1ステージ対応可)

幅500×奥580×高500mm

幅340×奥420mm

600W
13.56MHz オートチューニング

O2、Ar (オプション 1ライン増設可)
マスフローコントローラによる流量制御

N2 (スローライン有)

10レシピ (3ステップ)

ロータリーポンプ 1,300L/min

幅880×奥880×高1,600mm

約400kg

フィルターから探す

半導体製造装置をフィルターから探すことができます

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は、1969年に半導体製造装置のワールドリーダーだったアメリカ・ヒューグルインダストリーズ社の極東支社として創立され、飛躍的に進化を続ける半導体およびLCDなどフラットパネルの世界で常に...

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  • 本社所在地: 東京都

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