バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S
株式会社エスクラフト

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

WPAは同軸バレル構造の50枚バッチ式プラズマ処理装置です。価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサにより、各種アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置です。WPAの装置では、シリンコンウェハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマにより、低ダメージで灰化除去 (アッシング) 及び表面改質などの多様なプロセス用途に利用出来るフルオートマチックドライアッシング処置装置です。

■高速追従性小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。

■省フットプリントクリーンルーム占有面積640 (W) ×1,340 (D) 。本体以外はPUMPのみの省スペース化を実現。

■低ダメージ化同軸給電方式により高密度のO2プラズマを発生させております。処理室内は同軸アノード電極を内部に設置しており、ウェハが直接さらされる事はありません。荷電粒子によるダメージが少なく、集積回路の安定性を損なう危険性の極少化を実現しております。

又、処理室をヒータ加熱する事によりプロセス精度の向上とヒートアップ時の短縮を可能としました。

■多種多様なカスタマイズ性基本的なプラットフォームを利用して御客様の様々な要求に応じた対応を致します。

■将来的な収束問題の解消制御系にはシーケンサを使用しており、PCのモデルチェンジ等にありがちな収束問題も解消出来ます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S

取扱企業
株式会社エスクラフト

カテゴリ

半導体製造

半導体製造装置

加工・工作機器

プラズマ処理装置

この商品に関する問題を報告する

最新の閲覧: 19時間前

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

半導体製造装置注目ランキング

半導体製造装置の製品165点中、注目ランキング上位6点

12インチ対応ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB

株式会社くまさんメディクス

590人以上が見ています

最新の閲覧: 28分前

研究開発/試作用卓上・手動・半自動めっき装置

株式会社東設

510人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

全自動フェイスアップ式ウエハ用めっき装置 TEAM-FU

株式会社東設

460人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

全自動フェイスダウン式ウエハ用めっき装置 TEAM-FD

株式会社東設

430人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

半自動縦型ディップ式ウエハ/パネル用めっき装置 TESM-VT

株式会社東設

430人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

小型デバイス用フリップチップボンダ AFM-15

株式会社PFA

400人以上が見ています

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

半導体製造装置注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

「SHINSUNG E&G」クーリンルームや半導体装置向け FAN FILTER UNIT(FFU) 製造

株式会社世奉

310人以上が見ています

最新の閲覧: 10時間前

返答時間: 0.12時間

「SUNG ENGINEERING」クリーンルームの粉塵やケーブルのトラブルシューティングに適した様々なソリューション

株式会社世奉

260人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

返答時間: 0.12時間

ウェハ用機器リングフレーム再使用の省人化に全自動リングクリーナー RC-250

イーアールエス株式会社

250人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

返答時間: 23.81時間

「CANTOPS」半導体 Smart Factory 要素部品

株式会社世奉

240人以上が見ています

返答時間: 0.12時間

ウェハ装置リングフレーム再使用の省人化に全自動リングクリーナー RC-250

イーアールエス株式会社

160人以上が見ています

最新の閲覧: 49分前

返答時間: 23.81時間

有機EL試作用デバイス製造装置有機EL成膜・評価装置Ⅰ OED R&D SystemⅠ

北野精機株式会社

130人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

返答時間: 22.53時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	処理方式	処理室	RF電源	処理ガス	パージガス	処理ステップ	ウエハーサイズ	ウエハー搬送方式	本体寸法	本体重量
	WPA-600S	要見積もり	同軸バレル型	円筒・縦型・石英チャンバー	600~2,000W 13.56MHz オートチューニング	O2 1系統増設可 (オプション)	N2	10レシピ (3ステップ) ＋10ヒーターレシピ	6~8インチ (オプション4インチ又は5インチと兼用可)	垂直動作カセットエレベータ水平・旋回動作 2フィンガー吸着方式クリーンロボット	W640×D1,340×H1,900	500kg