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バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S取扱企業
株式会社エスクラフトカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理方式 | 処理室 | RF電源 | 処理ガス | パージガス | 処理ステップ | ウエハーサイズ | ウエハー搬送方式 | 本体寸法 | 本体重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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WPA-600S |
要見積もり |
同軸バレル型 |
円筒・縦型・石英チャンバー |
600~2,000W |
O2 1系統増設可 (オプション) |
N2 |
10レシピ (3ステップ) +10ヒーターレシピ |
6~8インチ (オプション4インチ又は5インチと兼用可) |
垂直動作 カセットエレベータ |
W640×D1,340×H1,900 |
500kg |
半導体製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260